支撑装置、投影光学系统、曝光装置、物品制造方法及调整方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112764318A(43)申请公布日2021.05.07(21)申请号202011104126.5(22)申请日2020.10.15(30)优先权数据2019-1921342019.10.21JP2020-0381262020.03.05JP(71)申请人佳能株式会社地址日本东京(72)发明人布施直人中山周吾(74)专利代理机构中国贸促会专利商标事务所有限公司11038代理人李鹏宇(51)Int.Cl.G03F7/20(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图17页(54)发明名称支撑装置、投影光学系统、曝光装置、物品制造方法及调整方法(57)摘要本发明提供支撑装置、投影光学系统、曝光装置、支撑装置的调整方法以及物品制造方法。支撑物体的支撑装置具备分别支撑上述物体的互不相同的部位的至少3个支撑机构。上述至少3个支撑机构分别包括：以在第1方向具有自由度的方式由第1平行板簧机构支撑的可动部；经由第2平行板簧机构而与上述可动部连接的输入部；调整上述输入部的位置的进给丝杠；中间体；将上述物体与上述中间体连结的第1弹性铰链；以及将上述中间体与上述可动部连结的第2弹性铰链。上述第2平行板簧机构的刚性低于上述第1平行板簧机构的刚性。CN112764318ACN112764318A权利要求书1/2页1.一种支撑装置，支撑物体，其特征在于，该支撑装置具备分别支撑上述物体的互不相同的部位的至少3个支撑机构，上述至少3个支撑机构分别包括：以在第1方向具有自由度的方式由第1平行板簧机构支撑的可动部；经由第2平行板簧机构而与上述可动部连接的输入部；调整上述输入部的位置的进给丝杠；中间体；将上述物体与上述中间体连结的第1弹性铰链；以及将上述中间体与上述可动部连结的第2弹性铰链，上述第2平行板簧机构的刚性低于上述第1平行板簧机构的刚性。2.如权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，上述进给丝杠的旋转被转换成朝向上述第1方向的上述输入部的移动。3.如权利要求2所述的支撑装置，其特征在于，上述进给丝杠是由丝杠承接部支撑的差动丝杠。4.如权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，在上述至少3个支撑机构的各个支撑机构中，上述第1弹性铰链以及上述第2弹性铰链配置于在与上述第1方向正交的第2方向上相互错开的位置。5.如权利要求4所述的支撑装置，其特征在于，上述可动部包括以夹入上述输入部的方式配置的第1相向部及第2相向部和将上述第1相向部与上述第2相向部相互连结的连结部，上述第1平行板簧机构包括支撑上述第1相向部的平行板簧和支撑上述第2相向部的平行板簧，上述第2平行板簧机构包括将上述第1相向部与上述输入部连结的平行板簧和将上述第2相向部与上述输入部连结的平行板簧。6.如权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，上述支撑装置还具备锁定上述进给丝杠的锁定机构。7.如权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，上述至少3个支撑机构包括上述第1方向彼此不同的2个支撑机构。8.如权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，上述至少3个支撑机构的上述第1方向彼此不同。9.如权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，上述至少3个支撑机构各自的连结上述第1弹性铰链与上述第2弹性铰链的直线的延长线不在一点相交。10.如权利要求1～9中任一项所述的支撑装置，其特征在于，上述物体包括光学元件。11.一种投影光学系统，其特征在于，该投影光学系统具备权利要求10所述的支撑装置。12.一种曝光装置，其特征在于，该曝光装置具备：驱动原版的原版驱动机构；驱动基板的基板驱动机构；以及以将上述原版的图形投影到上述基板上的方式配置的权利要求11所述的投影光学系2CN112764318A权利要求书2/2页统。13.一种物品制造方法，其特征在于，该物品制造方法包括：曝光工序，由权利要求12所述的曝光装置对涂敷有感光材料的基板进行曝光；以及显影工序，对经受过上述曝光工序的上述基板的上述感光材料进行显影，从经受过上述显影工序的上述基板制造物品。14.一种调整方法，对权利要求1～9中任一项所述的支撑装置进行调整，其特征在于，该调整方法包括：驱动量确定工序，基于上述物体的目标位置，确定对上述至少3个支撑机构各自的上述输入部赋予的驱动量；移动工序，通过将在上述驱动量确定工序确定的驱动量赋予给上述至少3个支撑机构各自的上述输入部，使上述物体移动；测定工序，测定通过上述移动工序移动的上述物体的位置；以及算式确定工序，基于在上述驱动量确定工序确定的驱动量和在上述测定工序测定的上述物体的位置来确定算式，该算式用于根据上述物体的目标位置确定应对上述至少3个支撑机构各自的上述输入部赋予的驱动量。15.如权利要求14所述的调整方法，其特征在于，在上述驱动量确定工序中，基于上述物