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收纳装置、曝光装置以及物品制造方法.pdf

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本发明提供收纳装置、曝光装置以及物品制造方法。收纳装置收纳包括形成有图案的图案面的原版,并具有:第1供给部,以形成沿着原版的与图案面相反侧的第1面的第1气流及沿着保护构件的与图案面侧相反侧的第2面的第2气流中的至少一方气流的方式吹出并供给气体,保护构件与图案面分离设置并保护图案面;第2供给部,以形成与由第1供给部形成的至少一方气流干涉的第3气流的方式吹出并供给气体;以及构件,包括与从第2供给部吹出的气体的吹出方向交叉并用于接受由第2供给部形成的第3气流的接受面,第1供给部以用于搬送原版的搬送口为基准配置在收纳原版的收纳空间的进深侧,第2供给部以搬送口为基准配置在收纳空间的近前侧。