投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法.pdf

本发明涉及投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法。提供能够同时实现高规格化和良好的光学性能的投影光学系统。具有凹面镜以及凸面镜并且使位于物体面上的光轴外的照明区域的图案的像按照凹面镜、凸面镜、凹面镜的顺序反射而投影到像面的投影光学系统具备配置于凹面镜与凸面镜之间的光路上的透镜群,所述透镜群包括具有第1非球面的第1透镜和配置于第1透镜与凸面镜之间并且具有第2非球面的第2透镜,在第1透镜的第1非球面中,在将第1非球面的位置Pcr、位置Psm处的光焦度分别设为将第1非球面中的光轴上的光焦度设为时,满足第2透镜的第2非球面具有用于补偿第1非球面中的从位置Pcr向位置Psm的光焦度变化的区域。