收纳装置、曝光装置以及物品制造方法.pdf
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收纳装置、曝光装置以及物品制造方法.pdf
本发明提供收纳装置、曝光装置以及物品制造方法。收纳装置收纳包括形成有图案的图案面的原版,并具有:第1供给部,以形成沿着原版的与图案面相反侧的第1面的第1气流及沿着保护构件的与图案面侧相反侧的第2面的第2气流中的至少一方气流的方式吹出并供给气体,保护构件与图案面分离设置并保护图案面;第2供给部,以形成与由第1供给部形成的至少一方气流干涉的第3气流的方式吹出并供给气体;以及构件,包括与从第2供给部吹出的气体的吹出方向交叉并用于接受由第2供给部形成的第3气流的接受面,第1供给部以用于搬送原版的搬送口为基准配置在
收纳装置、曝光装置以及物品制造方法.pdf
本发明提供收纳装置、曝光装置以及物品制造方法。收纳装置收纳包括形成有图案的图案面的原版,并具有:第1供给部,以形成沿着原版的与图案面相反侧的第1面的第1气流及沿着保护构件的与图案面侧相反侧的第2面的第2气流中的至少一方气流的方式吹出并供给气体,保护构件与图案面分离设置并保护图案面;第2供给部,以形成与由第1供给部形成的至少一方气流干涉的第3气流的方式吹出并供给气体;以及构件,包括与从第2供给部吹出的气体的吹出方向交叉并用于接受由第2供给部形成的第3气流的接受面,第1供给部以用于搬送原版的搬送口为基准配置在
曝光装置以及物品制造方法.pdf
在进行基板的扫描曝光的曝光装置中,利用来自光源(1)的光对原版(24)的被照明面进行照明的照明光学系统具有:衍射光学元件(6),在预定面上通过衍射作用变换来自所述光源(1)的光束的光强度分布;第1遮光部(18),配置于从所述被照明面的共轭面向所述光源侧散焦后的位置;以及第2遮光部(20),配置于从所述被照明面的所述共轭面向所述被照明面侧散焦后的位置。所述衍射光学元件(6)具有以下衍射特性:针对由所述第1遮光部(18)和所述第2遮光部(20)在所述被照明面上产生的、对通过所述扫描曝光对某一点进行照明的期间中
保持装置、曝光装置以及物品制造方法.pdf
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基板保持装置、曝光装置以及物品制造方法.pdf
本申请涉及基板保持装置、曝光装置和物品制造方法。提供了一种基板保持装置以及包括该基板保持装置的曝光装置,该基板保持装置包括设置有间隙的基座和部署在间隙中并且被配置为将已经透过基板的光向基板侧反射的反射构件。