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定位装置、光刻装置和物品制造方法.pdf
2023-06-03
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宛菡****魔王
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定位装置、光刻装置和物品制造方法.pdf
本发明提供定位装置、光刻装置和物品制造方法。定位装置具有：基板支承部，通过对基板的下表面喷出气体而使所述基板浮起，从而以非接触状态支承所述基板；多个吸引保持部，对由所述基板支承部以非接触状态支承的所述基板的下表面进行吸引，从而限制所述基板向与基板表面平行的方向的位移；支承构件，支承所述多个吸引保持部；以及旋转机构，通过使所述支承构件绕与所述基板表面交叉的轴旋转，从而不使所述基板支承部旋转，而借助所述多个吸引保持部使所述基板旋转。
2023-06-03
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定位设备、光刻设备和物品制造方法.pdf
本发明提供了定位设备、光刻设备和物品制造方法。定位设备包括引导件、能够在被引导件引导的同时沿第一方向移动的可动构件、和被构造成沿第一方向驱动可动构件的驱动器。驱动器包括沿第一方向延伸的进给螺杆、被构造成与进给螺杆螺纹地接合并且随着进给螺杆的旋转而沿第一方向移动的螺母、和被构造成连接螺母与可动构件的连接装置。连接装置包括中空杆，所述中空杆带有连接至可动构件的一端和连接至螺母的另一端，并且进给螺杆被插入至中空杆的中空部分中。
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支撑装置、光刻装置和器件制造方法.pdf
一种用于光刻装置的支撑装置(60)，具有物体保持件(61)和在物体保持件径向外侧的提取主体(65)。物体保持件被配置为支撑物体(W)。提取主体包括被配置为从支撑装置的顶面提取流体的提取开口(66)。提取主体与物体保持件间隔开，使得提取主体与物体保持件基本解耦。提取主体包括突起(30)，所述突起被配置为使得其围绕物体保持件，并且使得在使用中液体(32)的层保留在突起上且接触支撑在物体保持件上的物体。
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2023-06-03
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