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载置台装置、光刻装置以及物品的制造方法.pdf

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本发明涉及载置台装置、光刻装置以及物品的制造方法。提供有利于降低第1载置台与第2载置台产生干扰的可能性的技术。一种载置台装置,具备:第1载置台,能够移动;第2载置台,能够在所述第1载置台之上移动;以及控制部,将所述第2载置台相对于所述第1载置台的倾斜量控制成目标倾斜量,在所述载置台装置中,所述控制部根据所述第1载置台的移动区间来设定所述目标倾斜量而控制所述倾斜量。