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控制装置、系统、光刻装置、物品的制造方法、控制方法及程序.pdf
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控制装置、系统、光刻装置、物品的制造方法、控制方法及程序.pdf
对连接于网络的从装置进行控制的控制装置，包括：生成部，其生成用于对所述从装置中的处理进行控制的指示数据；以及通信部，所述通信部与所述从装置之间每固定周期经由所述网络发送和接收数据帧，所述通信部在检测到所述生成部执行了复位的情况下，在与所述复位执行之前所发送的所述指示数据对应的响应数据残留于所述数据帧中时，将所述响应数据设为无效的状态。
2023-11-05
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定位装置、光刻装置和物品制造方法.pdf
本发明提供定位装置、光刻装置和物品制造方法。定位装置具有：基板支承部，通过对基板的下表面喷出气体而使所述基板浮起，从而以非接触状态支承所述基板；多个吸引保持部，对由所述基板支承部以非接触状态支承的所述基板的下表面进行吸引，从而限制所述基板向与基板表面平行的方向的位移；支承构件，支承所述多个吸引保持部；以及旋转机构，通过使所述支承构件绕与所述基板表面交叉的轴旋转，从而不使所述基板支承部旋转，而借助所述多个吸引保持部使所述基板旋转。
2023-06-03
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载置台装置、光刻装置以及物品的制造方法.pdf
本发明涉及载置台装置、光刻装置以及物品的制造方法。提供有利于降低第1载置台与第2载置台产生干扰的可能性的技术。一种载置台装置,具备:第1载置台,能够移动;第2载置台,能够在所述第1载置台之上移动;以及控制部,将所述第2载置台相对于所述第1载置台的倾斜量控制成目标倾斜量,在所述载置台装置中,所述控制部根据所述第1载置台的移动区间来设定所述目标倾斜量而控制所述倾斜量。
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控制方法、控制装置及程序.pdf
一种控制方法,其是包括第1节点和多个第2节点、并且用于服务对象的使用的系统中的第1节点的控制方法,第1节点用第1分布式账本对第1区块链进行管理,多个第2节点分别用第2分布式账本对第2区块链进行管理,其中,生成第1事务数据,该第1事务数据表示在服务对象的使用时解除了服务对象的锁定,并且包含唯一地识别进行服务对象的使用的第1合同的第1合同ID(S3031),将包含第1事务数据的区块保存到第1区块链(S312D)。
2023-05-09
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支撑装置、光刻装置和器件制造方法.pdf
一种用于光刻装置的支撑装置(60)，具有物体保持件(61)和在物体保持件径向外侧的提取主体(65)。物体保持件被配置为支撑物体(W)。提取主体包括被配置为从支撑装置的顶面提取流体的提取开口(66)。提取主体与物体保持件间隔开，使得提取主体与物体保持件基本解耦。提取主体包括突起(30)，所述突起被配置为使得其围绕物体保持件，并且使得在使用中液体(32)的层保留在突起上且接触支撑在物体保持件上的物体。
2023-06-03
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