一种石墨舟存储柜.pdf

本发明公开了一种石墨舟存储柜，包括柜体、氮气系统，所述柜体形状为竖直长方体，柜体底部有支撑脚，柜体正面为玻璃门，玻璃门与柜体通过两个合页相连，柜体内有支撑架，所述氮气系统包括通气管、空流阀、第一三通、第二三通、第三三通、第四三通。本发明通过将石墨存储柜增加氮气系统，经过实验优化，增加氮气管通气之后,可以避免空气中的湿气影响,因为氮气是纯干燥的气体,不会含有水蒸气,另外可以避免空气中的粉尘颗粒物附着,减少石墨舟使用环境的污染，保证产品生产质量的稳定。

2023-06-02

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一种石墨舟.pdf

本实用新型公开了一种便于自动装卸舟设备检测正反的石墨舟,包括:舟体,舟体由多个平行分布且串接的舟片构成;两组舟脚,两组舟脚分别支撑舟体底部的两端,舟脚包括两个支撑舟体端部两侧的外舟脚、位于两个外舟脚之间且能够沿舟体底部水平移动的两个相对的内舟脚,两个内舟脚靠拢后在两个内舟脚之间形成卡槽;其中,舟体的两端上均设有两个电极块,且两端上两个电极块分别相对设置,其中一个电极块上设有标记石墨舟正反面的标记孔。本实用新型通过在石墨舟的其中一个电极块上开设标记孔,当石墨舟在放反的状态下进入自动装卸舟设备时,由于无法检测

2023-06-06

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一种用于石墨舟的新型电极结构及其石墨舟.pdf

本发明公开了一种用于石墨舟的新型电极结构，包括石墨杆和若干石墨连接块，所述电极结构通过石墨杆可拆卸地插接多个石墨连接块构成，所述石墨杆为圆柱体，所述石墨连接块为长方体，且石墨连接块中贯通开设有空心槽。本发明空心槽设计合理，空心结构的石墨连接块，在相同升温时间下提升了电极结构附近温区的温度，从而提升了相邻工位的电池片膜厚，缩小了电池片舟内膜厚均匀性的差异；并且保证了炉口通入的反应气体能直接通过电极结构进入石墨舟内，使得硅片镀膜时整体沉积速率较一致，从而改善舟内整体膜厚均匀性。

2023-06-16

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一种石墨舟降温方法.pdf

本发明提供一种石墨舟降温方法，在PECVD沉积炉的防护门板上直接打至少两个孔，孔内配合安装抽风风扇，抽风风扇直接将PECVD沉积炉内热气抽取排出至炉外，降低炉内温度。使用该方法可以有效的降低石墨舟温度，极大的节约降温过程的时间，从而提升电池硅片生产效率，提高了硅片良率。

2023-06-15

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一种石墨舟料盒.pdf

本发明涉及一种石墨舟料盒，它包括料盒和把手，料盒包括上板、左侧板、右侧板、隔板、下板和挡块，若干个隔板的左端均匀安装在左侧板内侧上面且若干个隔板位于上板与下板之间，每个隔板以及下板的右端上方都安装有右侧板，上板右端下方以及每个隔板右端下方分别与相邻下方的右侧板的上端之间留有间隙形成操作口，在上板以及每个隔板的下端的前侧且靠近左侧板的内侧位置分别安装有一个挡块；把手安装在上板的上面；每个挡块下方且在左侧板的内侧壁上分别开有一个横向的矩形槽，每个右侧板的内侧上端也开有L型凹槽，每一层的料盒上的矩形槽与L型凹槽

2023-11-10

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