一种用于石墨舟的新型电极结构及其石墨舟.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110648893A(43)申请公布日2020.01.03(21)申请号201911030309.4(22)申请日2019.10.28(71)申请人通威太阳能（安徽）有限公司地址230088安徽省合肥市高新区长宁大道与习友路交口西南角(72)发明人王利娟彭彪陆勇彭春林段少雷顾峰戎丹(74)专利代理机构昆明合众智信知识产权事务所53113代理人韦群(51)Int.Cl.H01J37/32(2006.01)H01L21/673(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图4页(54)发明名称一种用于石墨舟的新型电极结构及其石墨舟(57)摘要本发明公开了一种用于石墨舟的新型电极结构，包括石墨杆和若干石墨连接块，所述电极结构通过石墨杆可拆卸地插接多个石墨连接块构成，所述石墨杆为圆柱体，所述石墨连接块为长方体，且石墨连接块中贯通开设有空心槽。本发明空心槽设计合理，空心结构的石墨连接块，在相同升温时间下提升了电极结构附近温区的温度，从而提升了相邻工位的电池片膜厚，缩小了电池片舟内膜厚均匀性的差异；并且保证了炉口通入的反应气体能直接通过电极结构进入石墨舟内，使得硅片镀膜时整体沉积速率较一致，从而改善舟内整体膜厚均匀性。CN110648893ACN110648893A权利要求书1/1页1.一种用于石墨舟的新型电极结构，包括石墨杆(1)和若干石墨连接块(2)，其特征在于：所述电极结构通过石墨杆(1)可拆卸地插接多个石墨连接块(2)构成，所述石墨杆(1)为圆柱体，所述石墨连接块(2)为长方体，且石墨连接块(2)中贯通开设有空心槽(3)。2.根据权利要求1所述的一种用于石墨舟的新型电极结构，其特征在于：所述石墨连接块(2)上开设有两个与石墨杆(1)配合插接的插接孔(7)，两个所述插接孔(7)在轴径方向上为平行设置，所述插接孔(7)与空心槽(22)在轴径方向上为垂直设置。3.根据权利要求1所述的一种用于石墨舟的新型电极结构，其特征在于：还包括开槽连接块(4)，所述开槽连接块(4)中开设有插接孔(7)，且开槽连接块(4)中开设有条形槽(5)。4.根据权利要求1所述的一种用于石墨舟的新型电极结构，其特征在于：还包括石墨舟脚(6)，所述石墨舟脚(6)中开设有插接孔(7)。5.根据权利要求1所述的一种用于石墨舟的新型电极结构，其特征在于：所述石墨连接块(2)的横向宽度为24-26mm，所述石墨连接块(2)的纵向宽度为41-43mm，所述石墨连接块(2)的高度为34-36mm。6.根据权利要求2所述的一种用于石墨舟的新型电极结构，其特征在于：所述插接孔(7)为圆柱体，所述插接孔(7)的直径为8.2-8.4mm。7.根据权利要求2所述的一种用于石墨舟的新型电极结构，其特征在于：所述空心槽(3)为长方体，所述插接孔(7)与空心槽(3)的垂直间距为5-7mm。8.根据权利要求2所述的一种用于石墨舟的新型电极结构，其特征在于：所述空心槽(3)距石墨连接块(2)边缘的垂直距离为3-5mm。9.根据权利要求2所述的一种用于石墨舟的新型电极结构，其特征在于：所述空心槽(3)的横截面宽度大于插接孔(7)的直径。10.一种石墨舟，包括石墨舟页(10)，其特征在于：还包括权利要求1-9任意一项所述的电极结构，所述石墨舟页(10)通过石墨杆(1)连接石墨舟连接块(2)。2CN110648893A说明书1/4页一种用于石墨舟的新型电极结构及其石墨舟技术领域[0001]本发明涉及光伏太阳能电池生产设备技术领域，具体为一种用于石墨舟的新型电极结构及其石墨舟。背景技术[0002]光伏组件是由若干太阳能电池片串、并联连接后形成的组件，是太阳能发电领域的重要组成部分。而太阳能电池片在生产过程中，需要对硅片镀一层减反射氮化硅薄膜，因此对氮化硅薄膜的均匀性要求很高，而炉管各温区温度、镀膜功率、镀膜压力等都会影响镀膜均匀性，随着电池片生产工艺的优化，镀膜工艺方案较之前有很大的优化，但减反射膜的均匀性控制仍然是一项需优化的问题。[0003]现有的石墨舟电极结构，其包括石墨连接块、石墨杆、陶瓷杆、螺母，但是其普遍存在以下较为明显的工艺缺陷：[0004]目前产线上使用的石墨连接块为实心结构，在相同升温时间下使得电极结构附近温区温度偏低，相邻工位电池片容易受此影响使得膜厚偏低，影响整体膜厚均匀性；[0005]而且，装有电池片的石墨舟在炉管内镀膜时电极结构会阻碍反应气体流畅通过，出现进气不均的问题，也会影响整体膜厚均匀性。[0006]因此，需要一种新型电极结构来解决上述问题。发明内容[0007]本发明的目的在于提供一种用于石墨舟的新型电极结构及其石墨舟，以解决上述背景技术中提出的问题，能够提升电极