一种石墨舟.pdf
映雁****魔王
在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便
相关资料
一种石墨舟.pdf
本实用新型公开了一种便于自动装卸舟设备检测正反的石墨舟,包括:舟体,舟体由多个平行分布且串接的舟片构成;两组舟脚,两组舟脚分别支撑舟体底部的两端,舟脚包括两个支撑舟体端部两侧的外舟脚、位于两个外舟脚之间且能够沿舟体底部水平移动的两个相对的内舟脚,两个内舟脚靠拢后在两个内舟脚之间形成卡槽;其中,舟体的两端上均设有两个电极块,且两端上两个电极块分别相对设置,其中一个电极块上设有标记石墨舟正反面的标记孔。本实用新型通过在石墨舟的其中一个电极块上开设标记孔,当石墨舟在放反的状态下进入自动装卸舟设备时,由于无法检测
一种用于石墨舟的新型电极结构及其石墨舟.pdf
本发明公开了一种用于石墨舟的新型电极结构,包括石墨杆和若干石墨连接块,所述电极结构通过石墨杆可拆卸地插接多个石墨连接块构成,所述石墨杆为圆柱体,所述石墨连接块为长方体,且石墨连接块中贯通开设有空心槽。本发明空心槽设计合理,空心结构的石墨连接块,在相同升温时间下提升了电极结构附近温区的温度,从而提升了相邻工位的电池片膜厚,缩小了电池片舟内膜厚均匀性的差异;并且保证了炉口通入的反应气体能直接通过电极结构进入石墨舟内,使得硅片镀膜时整体沉积速率较一致,从而改善舟内整体膜厚均匀性。
一种石墨舟周转车.pdf
本发明提供一种石墨舟周转车,其特征在于:包括车架主体、隔板和车轮,所述隔板位于所述车架主体内部,将车架主体分隔出2个存储柜体,供存放石墨舟,所述车轮设置在所述车架主体底部,供车架主体自由移动。使用其存放、运输石墨舟作业便利、效率高、省时省力且安全,更能明显减轻劳动强度。
一种石墨舟存储柜.pdf
本发明公开了一种石墨舟存储柜,包括柜体、氮气系统,所述柜体形状为竖直长方体,柜体底部有支撑脚,柜体正面为玻璃门,玻璃门与柜体通过两个合页相连,柜体内有支撑架,所述氮气系统包括通气管、空流阀、第一三通、第二三通、第三三通、第四三通。本发明通过将石墨存储柜增加氮气系统,经过实验优化,增加氮气管通气之后,可以避免空气中的湿气影响,因为氮气是纯干燥的气体,不会含有水蒸气,另外可以避免空气中的粉尘颗粒物附着,减少石墨舟使用环境的污染,保证产品生产质量的稳定。
一种石墨舟降温方法.pdf
本发明提供一种石墨舟降温方法,在PECVD沉积炉的防护门板上直接打至少两个孔,孔内配合安装抽风风扇,抽风风扇直接将PECVD沉积炉内热气抽取排出至炉外,降低炉内温度。使用该方法可以有效的降低石墨舟温度,极大的节约降温过程的时间,从而提升电池硅片生产效率,提高了硅片良率。