一种掩膜板及蒸镀装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109023238A(43)申请公布日2018.12.18(21)申请号201811002302.7(22)申请日2018.08.30(71)申请人京东方科技集团股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号申请人鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司(72)发明人吕守华孙朴王琦张新建王震张健(74)专利代理机构北京同达信恒知识产权代理有限公司11291代理人郭润湘(51)Int.Cl.C23C14/04(2006.01)C23C14/24(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称一种掩膜板及蒸镀装置(57)摘要本发明涉及显示设备技术领域，公开了一种掩膜板及蒸镀装置，该掩膜板包括具有开口的框架以及覆盖所述开口且拉伸固定于所述框架第一侧面的掩膜板本体，其中，所述框架围成所述开口的内侧面与所述第一侧面之间通过沿所述第一侧面朝向所述开口逐渐倾斜的斜面连接；所述掩膜板本体与所述开口相对的表面形成有凹陷区域。该掩膜板能够使掩膜板本体与玻璃基板在框架开口边缘处平缓贴合，并且能够使掩膜板本体与玻璃基板的贴合更加平整，进而，使得掩膜板本体与玻璃基板贴合紧密，在蒸镀子像素时，使得子像素位置精度高，像素轮廓清晰，不会发生混色不良。CN109023238ACN109023238A权利要求书1/1页1.一种掩膜板，其特征在于，包括具有开口的框架以及覆盖所述开口且拉伸固定于所述框架第一侧面的掩膜板本体，其中，所述框架围成所述开口的内侧面与所述第一侧面之间通过沿所述第一侧面朝向所述开口逐渐倾斜的斜面连接；所述掩膜板本体与所述开口相对的表面形成有凹陷区域。2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述斜面与所述第一侧面的延长面之间的夹角大于0度且小于等于20度。3.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板本体包括覆盖所述开口且拉伸固定于所述第一侧面的遮挡掩膜板以及位于所述遮挡掩膜板背离所述框架一侧且拉伸固定于所述第一侧面的多条金属掩膜条，所述遮挡掩膜板上形成有与玻璃基板待蒸镀区域对应的多个蒸镀开口，所述金属掩膜条上形成有内部具有与蒸镀图案对应的图形的有效开口区。4.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，每个所述有效开口区在所述遮挡掩膜板上的投影至少覆盖一个所述蒸镀开口。5.根据权利要求4所述的掩膜板，其特征在于，所述有效开口区的形状为沿所述金属掩膜条拉伸方向的长方形或者正方形，所述蒸镀开口的形状为圆形。6.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述遮挡掩膜板与所述开口相对的表面上形成有所述凹陷区域。7.根据权利要求6所述的掩膜板，其特征在于，所述凹陷区域的深度为所述遮挡掩膜板厚度的1/2至2/3。8.根据权利要求7所述的掩膜板，其特征在于，所述凹陷区域距所述框架内侧面的距离为1mm。9.根据权利要求3-8任一项所述的掩膜板，其特征在于，所述框架、所述遮挡掩膜板以及所述金属掩膜条的材料相同。10.一种蒸镀装置，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的掩膜板。2CN109023238A说明书1/4页一种掩膜板及蒸镀装置技术领域[0001]本发明涉及显示设备技术领域，特别涉及一种掩膜板及蒸镀装置。背景技术[0002]有机发光二极管(OLED)有机蒸镀显示技术，是将玻璃基板放置到真空腔室内，其中玻璃基板包括阳极，经过真空腔室，高温蒸镀有机材料，在基板表面依次形成发光层和阴极，阴阳极作用，使发光层发光。其中发光层包括：电子注入层、电子传输层、电致发光层、空穴传输层、空穴注入层等。其中，发光层是在真空腔室内通过高温蒸镀沉淀在玻璃基板上。不同颜色的子像素，发光层材料不同，所以需要在不同的蒸镀腔室内分别蒸镀，且蒸镀在不同的像素位置，其中起限位功能的治具就是高精度金属掩膜版(FMM)。金属掩膜版包含有效像素开孔，从而发光层蒸镀材料通过金属掩膜版开口蒸镀到对应背板玻璃的子像素位置处。不同的位置开孔，形成不同颜色的子像素。在基板对应阳极位置的驱动下，发光层发光。[0003]目前，随着显示产品的分辨率不断提高，子像素的尺寸不断缩小，子像素的排布结构变密，相同像素的距离缩小，同时，对于APP小尺寸及异型产品的出现，例如手表、手环等，要求在同一金属掩膜版上排列的产品数量增多。对于高精度金属掩膜版，由于是通过拉伸焊接的工艺制作，且材料特性限制，都使得金属掩膜版的开孔位置精度确保难度加大。影响产品的生产良率。[0004]例如，如图1所示，金属掩膜板包括框架01和金属掩膜条02，金属掩膜条02上设置有用于蒸镀的有效开口区。金属掩膜条02焊接于框架上呈下垂状，如图2所示。蒸镀时，玻璃基板放置于金属掩膜板表面，由于金属掩膜条02在边缘区域是倾斜的，所以玻璃背板与金属掩膜条0