一种太阳能硅片表面清洁处理方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106684020A(43)申请公布日2017.05.17(21)申请号201611164504.2B08B13/00(2006.01)(22)申请日2016.12.15(71)申请人中山市得高行知识产权中心（有限合伙）地址528400广东省中山市小榄镇新华中路118号向明大厦10楼A室2卡(72)发明人梁荣强谢小坚(74)专利代理机构北京华仁联合知识产权代理有限公司11588代理人张换君(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L31/18(2006.01)B08B3/04(2006.01)B08B3/08(2006.01)权利要求书1页说明书3页(54)发明名称一种太阳能硅片表面清洁处理方法(57)摘要本发明涉及一种太阳能硅片表面清洁处理方法，所采用系统包括安装支撑架；安装支撑架上设有清洗槽机构，第一、第二干燥处理箱，四个机械移动机构和三对清洗槽机构械手组件；所述清洗槽机构还包括有多个太阳能硅片承载花篮，太阳能硅片承载花篮上设有若干用于隔离太阳能硅片的隔离板；所述干燥处理箱均包括有干燥箱箱体、循环风机和热能器；干燥箱箱体的前后侧设有上下移动的箱门，其中一侧构成干燥箱箱体的入口，另一侧构成干燥箱箱体的出口；干燥箱箱体内的左右侧各设有一个前后走向的花篮箱内支撑移动机构。本发明适用于太阳能电池的清洁作业使用、具有较高自动化工作性能。本发明所述的清洁工艺，太阳能电池可以获得良好的清洁效果。CN106684020ACN106684020A权利要求书1/1页1.一种太阳能硅片表面清洁处理方法，其特征在于：所采用系统包括安装支撑架；安装支撑架上设有清洗槽机构，第一、第二干燥处理箱，四个机械移动机构和三对清洗槽机构械手组件；所述清洗槽机构还包括有多个太阳能硅片承载花篮，太阳能硅片承载花篮上设有若干用于隔离太阳能硅片的隔离板；所述干燥处理箱均包括有干燥箱箱体、循环风机和热能器；干燥箱箱体的左右侧壁固定在安装支撑架上；干燥箱箱体的前后侧设有上下移动的箱门，其中一侧构成干燥箱箱体的入口，另一侧构成干燥箱箱体的出口；干燥箱箱体内的左右侧各设有一个前后走向的花篮箱内支撑移动机构；循环风机固设在干燥箱箱体的顶部或底部，热能器则设在循环风机和干燥箱箱体之间；第一干燥处理箱的干燥箱箱体的入口箱门之外和第二干燥处理箱的干燥箱箱体的出口箱门之外的左右两侧的安装支撑架上均各设有一个前后走向的花篮间歇支撑移动机构。2.根据权利要求1所述的太阳能硅片表面清洁处理方法，其特征在于：所述第一干燥处理箱的干燥箱箱体的出口箱门和第二干燥处理箱的入口箱门之间设有把太阳能硅片承载花篮从第一干燥处理箱的干燥箱箱体的出口箱门外转移到第二干燥处理箱的入口箱门外的太阳能硅片承载花篮转移机构。3.根据权利要求1所述的太阳能硅片表面清洁处理方法，其特征在于：所述清洗槽机构械手组件包括有清洗槽机构械手主体；三对清洗槽机构械手组件顺次设在清洗槽机构的上方。4.根据权利要求1所述的太阳能硅片表面清洁处理方法，其特征在于：所述清洗槽机构械手主体靠近相应的干燥箱箱体的一端和安装支撑架上下滑动配合。5.根据权利要求1所述的太阳能硅片表面清洁处理方法，其特征在于：所述清洗槽机构械手主体远离相应的干燥箱箱体的一端设有花篮清洁支撑缺口，该花篮清洁支撑缺口位于相应的清洁槽主体的上方。6.根据权利要求1所述的太阳能硅片表面清洁处理方法，其特征在于：第一清洗槽机构的清洁槽主体中放置有用于清洗太阳能硅片的碱液，第二清洗槽机构的清洁槽主体中放置有用于清洗太阳能硅片的酸液；第三清洗槽机构的清洁槽主体内放置有用于清洁的太阳能硅片的去离子水；清洁作业时，太阳能电池插入在太阳能硅片承载花篮中；插入在太阳能硅片承载花篮中的太阳能电池首先通过花篮间歇支撑移动机构送到第一清洗槽机构械手组件的清洗槽机构械手主体上，然后进入第一清洗槽机构的清洁槽主体内进行第一次清洁，清洁完成后利用机械移动机构送入第一干燥处理箱的干燥箱箱体内进行干燥，然后再从第一干燥处理箱的干燥箱箱体内取出送入第二清洗槽机构的清洁槽主体内进行第二次清洁作业，然后再转移送入第三清洗槽机构的清洁槽主体内进行第三次清洁，然后再进入第二干燥处理箱的干燥箱箱体内进行第二次干燥；太阳能电池经过三次清洁和两次干燥作业后完成清洁作业。2CN106684020A说明书1/3页一种太阳能硅片表面清洁处理方法技术领域[0001]本发明涉及一种太阳能硅片表面清洁处理方法，属于太阳能电池加工处理技术领域。背景技术[0002]太阳能电池片生产制作过程中，对硅片表面清洁要求十分高，避免在清洁过程中引入杂质，从而影响其使用效果，因此，有必要采用合适的方式改善太阳能硅片表面清洁处理效果，以便更好地改善