掩模组件、掩模框架以及掩模支撑架.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108034923A(43)申请公布日2018.05.15(21)申请号201810068510.0(22)申请日2018.01.24(71)申请人武汉华星光电半导体显示技术有限公司地址430000湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室(72)发明人蒋谦陈永胜(74)专利代理机构深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)44280代理人钟子敏(51)Int.Cl.C23C14/04(2006.01)C23C14/24(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图3页(54)发明名称掩模组件、掩模框架以及掩模支撑架(57)摘要本发明公开了一种掩模组件、掩模框架以及掩模支撑架，所述掩模组件包括掩模框架和掩模支撑架；所述掩模框架包括至少一个第一连接部；所述掩模支撑架包括至少一个第二连接部；所述掩模框架和所述掩模支撑架通过所述第一连接部和所述第二连接部可拆卸连接。本发明掩模组件包括可拆卸连接的掩模框架和掩模支撑架，在更换掩模组件时，由于掩模框架尺寸没有改变，掩模框架可以直接再次利用，只需更换掩模支撑架即可。本发明能够实现掩模框架多次循环使用，降低掩模框架的替换率，降低生产成本。CN108034923ACN108034923A权利要求书1/1页1.一种掩模组件，其特征在于，所述掩模组件包括掩模框架和掩模支撑架；所述掩模框架包括至少一个第一连接部；所述掩模支撑架包括至少一个第二连接部；所述掩模框架和所述掩模支撑架通过所述第一连接部和所述第二连接部可拆卸连接。2.根据权利要求1所述的掩模组件，其特征在于，所述第一连接部为第一固定孔，所述第二连接部为第二固定孔，所述掩模框架与所述掩模支撑架通过所述第一固定孔、固定件以及所述第二固定孔的配合连接；或者所述第一连接部为第一凸起部或第一凹槽，所述第二连接部为第二凹槽或第二凸起部，所述掩模框架与所述掩模支撑架通过所述第一凸起部和所述第二凹槽卡合连接或通过所述第一凹槽和所述第二凸起部卡合连接。3.根据权利要求1所述的掩模组件，其特征在于，所述掩模框架的一侧表面形成有凸台，所述第一连接部形成于所述凸台上，所述凸台与所述掩模支撑架连接。4.根据权利要求3所述的掩模组件，其特征在于，所述掩模框架的所述凸台的上表面与所述掩模支撑架的下表面抵触连接，且所述凸台的上表面与所述掩模支撑架的下表面形状相同。5.一种掩模框架，其特征在于，所述掩模框架为一框体，其上形成有至少一个第一连接部，以可拆卸连接掩模支撑架。6.根据权利要求5所述的掩模框架，其特征在于，所述第一连接部为第一固定孔，所述掩模框架通过第一固定孔与固定件的配合与所述掩模支撑架连接；或者所述第一连接部为凸起部或凹槽，所述凸起部或凹槽与所述掩模支撑架卡合连接。7.根据权利要求5所述的掩模框架，其特征在于，所述掩模框架框架的一侧表面形成有凸台，所述第一连接部形成于所述凸台上，所述凸台与所述掩模支撑架连接。8.一种掩模支撑架，其特征在于，所述掩模支撑架为框体，并包括第二连接部，所述第二连接部用于与掩模框架可拆卸连接，所述掩模支撑架的一侧表面上形成有焊接部。9.根据权利要求8所述的掩模支撑架，其特征在于，所述第二连接部为第二固定孔，所述掩模支撑架通过第二固定孔与固定件的配合与所述掩模框架连接；或者所述第二连接部为凸起部或凹槽，所述凸起部或凹槽与所述掩模框架卡合连接。10.根据权利要求8所述的掩模支撑架，其特征在于，所述掩模支撑架包括具有预设图案的金属薄片，所述金属薄片连接于所述掩模支撑架的焊接部。2CN108034923A说明书1/5页掩模组件、掩模框架以及掩模支撑架技术领域[0001]本发明涉及显示器加工设备技术领域，特别是涉及一种掩模组件、掩模框架以及掩模支撑架。背景技术[0002]有机电致发光技术(OrganicLightEmittingDiode,OLED)是一种新型的显示技术。采用真空蒸镀技术制备OLED薄膜，在真空环境中加热有机/金属材料，材料受热升华，通过具有图案的掩模板,在基板表面形成具有一定形状的有机\金属薄膜。经历多种材料的连续沉积成膜，即可形成具有多层薄膜的OLED结构。[0003]在实际的使用中，因为连续蒸镀一定数量的玻璃，掩模版需要经历清洗之后，才能再次装载到蒸镀机台内部，再次进行蒸镀制程。当产线进行产品切换时，需要制作新的掩模版。如果想对现有的掩模版再次使用，可以去除现有框架上的金属薄片，对框架的表面进行平坦化处理后才能继续使用。但是，对现有框架进行多次平坦化处理后，框架总厚度会比规格值小，框架就无法再利用，需要对整个框架全部更换，生产成本会增加。[0004]也就是说，现有的掩模版的框架多次使用后由于尺寸变化在更换时需要全部更换