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图案形成方法.pdf
2023-06-01
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相关资料
图案形成装置以及图案形成方法.pdf
本发明的图案形成装置具备多个罐和电源装置。罐具有与形成有不同种类的皮膜的多个区域各自的轮廓形状相同形状的开口端，并在使这些开口端抵接于工件的表面W的状态下分别蓄积用于形成不同种类的皮膜的电沉积液。电源装置向作为第一电极的工件与多个罐内的第二电极的每一电极之间施加规定的电压。
2023-10-14
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图案形成装置、图案形成方法以及装置制造方法.pdf
通过控制装置在Z轴方向上细微地驱动暂时支持片(S)的六个辅助片支持物(SH2)和(SH3)，以使得其支持表面定位在片支持物(SH1)的支持表面的略微较低侧(-Z侧)。因此，在宽度方向(Y轴方向)和长度方向上向片(S)施加适当的张力，以使得片(S)的中心部分固定到片支持物(SH1)的支持表面。即，在XY二维张力被施加到片(S)的分开区域(SAi)的状态下，与片(S)的分开区域(SAi)对应的后表面部分根据片支持物(SH1)的支持表面的平坦形状而改变。另外，在张力在长度方向和宽度方向上被施加到预定区域的状态下
2023-05-28
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形成图案的方法.pdf
一种形成图案的方法包括至少以下步骤。提供第一材料及邻接所述第一材料的第二材料。所述第一材料与所述第二材料具有不同的辐射吸收率。在所述第一材料及所述第二材料上形成阻挡层。以电磁辐射对所述阻挡层进行全局辐照以使所述阻挡层的一部分转变成交联部分。剩余的所述阻挡层形成非交联部分。所述非交联部分覆盖所述第二材料。移除所述阻挡层的所述非交联部分以暴露出所述第二材料。在被暴露的所述第二材料上形成第三材料。移除所述阻挡层的所述交联部分。
2023-06-11
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图案形成方法.pdf
本发明的课题在于提供高精细且没有条痕或斑驳不均、绝缘特性和导电特性均匀、并且涂膜的密接良好的、利用喷墨印刷方式的图案形成方法。本发明的图案形成方法的特征在于，在与多个喷嘴孔在一列方向上排列的墨吐出装置的喷嘴列方向垂直以及平行地移动多次而从喷嘴对作为印刷介质的基板吐出墨的液滴以形成图案的方式中，作为所述墨，使用吐出时的温度下的粘度η1和着落时的温度下的粘度η2的比率η2/η1为100以上的墨，并且以如下方式进行控制：与构成所述图案的所述图像数据的各像素的灰度或者浓度对应地，使在构成形成于所述基板上的图案的点
2023-06-01
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图案形成方法.pdf
本发明的课题在于提供一种图案形成方法，所述图案形成方法中，在使用包含碱性填料及/或碱性聚合物的感光性组合物、利用光刻法在基板上形成经图案化的膜时，能够以几乎不残留显影残渣的方式进行曝光后的显影。本发明的解决手段为，在使用包含碱性填料及/或碱性聚合物的感光性组合物、利用光刻法在基板上形成经图案化的膜时，在曝光后的显影中使用下述显影液，所述显影液含有包含非质子性极性有机溶剂的有机溶剂作为溶剂。
2023-11-20
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