一种可计量晶圆片数的短行程升降装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110957251A(43)申请公布日2020.04.03(21)申请号201911142936.7(22)申请日2019.11.20(71)申请人上海至纯洁净系统科技股份有限公司地址200000上海市闵行区紫海路170号(72)发明人庄海云李志峰王雪松陈佳炜(74)专利代理机构北京沁优知识产权代理事务所(普通合伙)11684代理人蔡岩岩(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L21/66(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图3页(54)发明名称一种可计量晶圆片数的短行程升降装置(57)摘要本发明公开了一种可计量晶圆片数的短行程升降装置，包括：支撑结构，计数机构，所述计数机构放置于支撑架的腔室内，所述计数机构包括固定板，所述固定板上固定有至少两个对称设置的U型固定夹板，所述U型固定夹板上固定有计数传感器盒，所述计数传感器盒内固定有计数传感器组；升降机构，所述升降机构的一端固定于支撑结构腔室内，另一端固定于计数机构上，以使所述计数机构在支撑结构腔室内进行上下运动。根据本发明，而且通过设置升降的晶圆计数器进行随时对批量式的晶圆计数，计数的结果更准确，而且该装置可固定在水平移动机构或者垂直运动上来实现多方位的运动，可以和晶圆片与托篮装载、卸载更紧密的配合。CN110957251ACN110957251A权利要求书1/2页1.一种可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，包括：支撑结构(3)，所述支撑结构(3)为框架式且内部为用以收纳的腔室；计数机构(4)，所述计数机构(4)放置于支撑架(3)的腔室内，所述计数机构(4)包括固定板(414)，所述固定板(414)上固定有至少两个对称设置的U型固定夹板(413)，所述U型固定夹板(413)上固定有计数传感器盒(412)，所述计数传感器盒(412)内固定有计数传感器组(411)；以及升降机构(5)，所述升降机构(5)的一端固定于支撑结构(3)腔室内，另一端固定于计数机构(4)上，以使所述计数机构(4)在支撑结构(3)腔室内进行上下运动。2.如权利要求1所述的可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，所述支撑结构(3)包括连接板(31)，所述连接板(31)上固定有底板(32)，所述底板(32)上表面上固定有第一支撑组件(33)及与所述第一支撑组件(33)结构相同且对称设置在底板(32)上的第二支撑组件(34)。3.如权利要求2所述的可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，所述第二支撑组件(34)包括外支撑板(345)，所述外支撑板(345)上固接有横向阻挡板(344)，所述横向阻挡板(344)为U型结构。4.如权利要求3所述的可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，横向阻挡板(344)一侧端固接有内支撑板(343)，所述内支撑板(343)与外支撑板(345)相互平行设置，以使横向阻挡板(344)为内支撑板(343)提供水平阻力来防止内支撑板(343)往外侧偏转与晃动。5.如权利要求3所述的可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，所述外支撑板(345)上固接有固定块(342)，所述固定块(342)上固定有托篮定位块(341)，所述托篮定位块(341)为台阶状。6.如权利要求5所述的可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，托篮定位块(341)上架设有托篮(2)，且托篮定位块(341)一台阶面上设有一三角形凸起块(3411)，以使托篮(2)与托篮定位块(341)相配合。7.如权利要求6所述的可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，所述托篮(2)包括第一托架(21)及与第一托架(21)结构相同且对称设置的第二托架(22)，所述第一托架(21)与第二托架(22)之间设有固定横梁(23)及与固定横梁(23)相对设置的固定板(24)。8.如权利要求7所述的可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，所述第二托架(22)包括固定栅格，所述固定栅格由弧形齿条(221)组成，每两个弧形齿条(221)之间形成固定区域，所述固定栅格的上端固定有悬挂耳(224)，所述固定栅格的下端一体式连接有支撑板(222)，所述支撑板(222)上开设有卡槽(223)。9.如权利要求1所述的可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，升降机构(5)包括升降气缸(51)及轴固定块(52)，所述升降气缸(51)设有主升降轴(55)、第一副升降轴(53)及第二副升降轴(54)，且主升降轴(55)、第一副升降轴(53)及第二副升降轴(54)的上端均固定于轴固定块(52)上，所述轴固定块(52)固定于固定板(414)上。10.如任意权利要求1-9所述的可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，还包括：垂直升