

一种圆晶提篮升降装置.pdf
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相关资料
一种圆晶提篮升降装置.pdf
本实用新型旨在提供一种结构紧凑、成本较低、输送稳定且易于安装调试的圆晶提篮升降装置。本实用新型包括底板,底板上设置有升降箱,升降箱内设置有伺服马达、滚珠丝杆、丝杆螺母和升降座,滚珠丝杆转动设置在升降箱内并与伺服马达的输出轴传动连接,丝杆螺母设置在升降座内,升降座通过丝杆螺母套设在滚珠丝杆上,升降座的前侧穿出升降箱并设置有升降板,升降板的上端的前后两端均设置有X向调节块,升降板的上端的左右两端分别设置有Y向调节板和Y向固定板,Y向调节板、Y向固定板和两块X向调节块相互配合形成用于圆晶提篮放置的限位空间。本实
晶圆支撑销升降装置.pdf
一种晶圆支撑销升降装置,包含:一支撑板、一滑块及一升降支杆。支撑板用于支撑多个支撑销。滑块以滑动的方式连接于一腔体的一内壁,使该滑块相对于该腔体滑动。升降支杆具有一第一端、一第二端和一第三端,该第一端连接至该支撑板,该第二端以枢转的方式连接于该滑块,该第三端连接至一致动器。该致动器用于控制使该升降支杆在一高位和一低位之间升降移动。藉由该升降支杆的第二端与该滑块枢转连接,靠近该高位的升降支杆使该支撑板趋近水平,而靠近该低位的升降支杆使该支撑板呈倾斜。
用于晶圆刻蚀的升降装置.pdf
本发明属于半导体技术领域,具体涉及一种用于晶圆刻蚀的升降装置。本发明所述的用于晶圆刻蚀的升降装置,其中包括升降杆、与所述升降杆固定连接的支撑件,所述升降杆和所述支撑件上均设有齿轮传动单元,所述支撑件上还设有用于支撑并能够使晶圆转动的导向单元,所述齿轮传动单元的输出端与所述导向单元的输入端传动连接,从而驱动所述导向单元完成对晶圆的转动。通过使用本发明所述的用于晶圆刻蚀的升降装置,能够将刻蚀过程中的晶圆进行转动,有效地对晶圆表面进行均匀的刻蚀,提高晶圆表面质量。
一种可计量晶圆片数的短行程升降装置.pdf
本发明公开了一种可计量晶圆片数的短行程升降装置,包括:支撑结构,计数机构,所述计数机构放置于支撑架的腔室内,所述计数机构包括固定板,所述固定板上固定有至少两个对称设置的U型固定夹板,所述U型固定夹板上固定有计数传感器盒,所述计数传感器盒内固定有计数传感器组;升降机构,所述升降机构的一端固定于支撑结构腔室内,另一端固定于计数机构上,以使所述计数机构在支撑结构腔室内进行上下运动。根据本发明,而且通过设置升降的晶圆计数器进行随时对批量式的晶圆计数,计数的结果更准确,而且该装置可固定在水平移动机构或者垂直运动上来
一种晶圆固定装置及晶圆干燥装置.pdf
本发明公开了一种晶圆固定装置及晶圆干燥装置,所述晶圆固定装置包括底部支撑件,所述底部支撑件的外周侧间隔设置有多个卡爪,所述卡爪的形成有用于与晶圆的边缘抵接的卡合部;所述卡爪配置有疏通孔,所述疏通孔自所述卡爪的卡合部朝向外侧贯通设置;所述疏通孔能够引导流体排出,以抑制其在晶圆或卡爪处驻留。