晶圆支撑销升降装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112736020A(43)申请公布日2021.04.30(21)申请号202011633338.2(22)申请日2020.12.31(71)申请人拓荆科技股份有限公司地址110179辽宁省沈阳市浑南区水家900号(72)发明人杨德赞杨华龙吴凤丽(74)专利代理机构沈阳维特专利商标事务所(普通合伙)21229代理人李丹(51)Int.Cl.H01L21/687(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图5页(54)发明名称晶圆支撑销升降装置(57)摘要一种晶圆支撑销升降装置，包含：一支撑板、一滑块及一升降支杆。支撑板用于支撑多个支撑销。滑块以滑动的方式连接于一腔体的一内壁，使该滑块相对于该腔体滑动。升降支杆具有一第一端、一第二端和一第三端，该第一端连接至该支撑板，该第二端以枢转的方式连接于该滑块，该第三端连接至一致动器。该致动器用于控制使该升降支杆在一高位和一低位之间升降移动。藉由该升降支杆的第二端与该滑块枢转连接，靠近该高位的升降支杆使该支撑板趋近水平，而靠近该低位的升降支杆使该支撑板呈倾斜。CN112736020ACN112736020A权利要求书1/2页1.一种晶圆支撑销升降装置，适用于一腔体，其特征在于，包括：一支撑板，用于支撑多个支撑销；一滑块，以滑动的方式连接于该腔体的一内壁，使该滑块相对于该腔体滑动；及一升降支杆，具有一第一端、一第二端和一第三端，该第一端连接至该支撑板，该第二端以枢转的方式连接于该滑块，该第三端连接至一致动器，该致动器用于控制使该升降支杆在一高位和一低位之间升降移动；其中，藉由该升降支杆的第二端与该滑块枢转连接，靠近该高位的升降支杆使该支撑板趋近水平，而靠近该低位的升降支杆使该支撑板呈倾斜。2.根据权利要求1所述的晶圆支撑销升降装置，其特征在于，该支撑板具有一顶部及一底部，该顶部用于承载该多个支撑销，该底部连接该升降支杆的第一端。3.根据权利要求2所述的晶圆支撑销升降装置，其特征在于，该支撑板的顶端具有用于承载该等支撑销的一第一支撑部、一第二支撑部及一第三支撑部，该支撑板的底部具有一套筒，该套筒的位置与该第一支撑部的位置相对，该套筒连接该升降支杆的第一端。4.根据权利要求1所述的晶圆支撑销升降装置，其特征在于，该腔体的内壁提供有一滑轨，该滑块经由该滑轨与该内壁连接，使该滑块相对于该内壁升降移动。5.根据权利要求4所述的晶圆支撑销升降装置，其特征在于，该升降支杆的第一端与该第三端相对，该升降支杆的第二端位于该第一端和该第二端之间，该第二端具有一连接臂自该升降支杆侧向延伸，该连接臂与该滑块枢转连接使该升降支杆相对于该滑块枢转。6.根据权利要求5所述的晶圆支撑销升降装置，其特征在于，该滑块一外侧及一内侧，该外侧具有一滑槽用于接连该滑轨，该内侧形成有一第一限位面及一第二限位面，该第一限位面与该第二限位面相对以形成一容置空间。7.根据权利要求6所述的晶圆支撑销升降装置，其特征在于，该连接臂具有一顶部及一底部，该连接臂的顶部具有一凸出部，该凸出部自该连接臂的顶端向上延伸并部分容置于该第一限位面与该第二限位面所形成的容置空间中。8.根据权利要求7所述的晶圆支撑销升降装置，其特征在于，该第二限位面提供有一第一弹簧，该第一弹簧对该凸出部施加朝向该第一限位面的一侧向偏压力。9.根据权利要求8所述的晶圆支撑销升降装置，其特征在于，该内壁提供有一第二弹簧，该第二弹簧位于该连接臂下方并配置成当升降支杆靠近该低位时对该连接臂的底部施加一朝上偏压力，使该升降支杆相对于该滑块枢转，导致支撑板倾斜。10.根据权利要求9所述的晶圆支撑销升降装置，其特征在于，处在该高位的连接臂仅受到来自该第一弹簧的侧向偏压力施加于该凸出部上，使该凸出部接触该第一限位面，迫使该支撑板呈水平，而呈水平的支撑板使该多个支撑销位于相同的水平高度。11.根据权利要求10所述的晶圆支撑销升降装置，其特征在于，处在该低位的连接臂受到来自第一弹簧的侧向偏压力施加在该凸出部和该第二弹簧的朝上偏压力施加在该连接臂的底部，迫使该支撑板呈倾斜，而呈现倾斜的支撑板使该多个支撑销位于不同的水平高度。12.根据权利要求11所述的晶圆支撑销升降装置，其特征在于，该滑块的一底部具有一对枢接臂，该升降支杆的连接臂位于该对枢接臂之间并经由一轴形成该连接臂与该对枢接臂之间的枢转连接。2CN112736020A权利要求书2/2页13.根据权利要求12所述的晶圆支撑销升降装置，其特征在于，该第二弹簧介于该轴与该内壁之间并由该内壁上的一固定座所固持。14.根据权利要求1至13中任一项所述的晶圆支撑销升降装置，其特征在于，具有用于承载一晶圆的一承载盘，其中该支撑板位于该承载盘的下方，该多个支撑销配置成相对于该承载盘升