管式PECVD设备的进出舟装置及管式PECVD设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111455354A(43)申请公布日2020.07.28(21)申请号202010442285.X(22)申请日2020.05.22(71)申请人湖南红太阳光电科技有限公司地址410205湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号(72)发明人肖洁(74)专利代理机构湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008代理人戴玲(51)Int.Cl.C23C16/458(2006.01)C23C16/513(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图4页(54)发明名称管式PECVD设备的进出舟装置及管式PECVD设备(57)摘要本发明公开了管式PECVD设备的进出舟装置及管式PECVD设备，装置包括支撑架、传送导轨部分和动力部分，传送导轨部分包括承载载料舟的托盘、炉外托盘导轨、炉内托盘导轨和固定导轨，固定导轨的两端支撑在支撑架上，炉外托盘导轨可移动的设于固定导轨上，托盘可移动的设于炉外托盘导轨上，炉内托盘导轨设于炉体反应室内，动力系统包括托盘导轨推动驱动和托盘推动驱动，托盘导轨推动驱动用于驱动炉外托盘导轨移动以便与炉内托盘导轨对接，托盘推动驱动用于驱动托盘从炉外托盘导轨移动至炉内托盘导轨上。设备包括炉体和炉门系统，炉体内设有反应室，还包括上述的进出舟装置。本发明具有结构稳定、不会发生变形以及缩短取放舟时间的优点。CN111455354ACN111455354A权利要求书1/1页1.一种管式PECVD设备的进出舟装置，其特征在于：包括支撑架(1)、传送导轨部分和动力部分，所述传送导轨部分包括托盘(2)、炉外托盘导轨(31)、炉内托盘导轨(32)和固定导轨(4)，所述固定导轨(4)的两端支撑在支撑架(1)上，所述炉外托盘导轨(31)可移动的设于固定导轨(4)上，所述托盘(2)可移动的设于炉外托盘导轨(31)上，所述炉内托盘导轨(32)设于炉体(5)的反应室(51)内，所述炉内托盘导轨(32)与固定导轨(4)之间具有一定间距，所述动力系统包括托盘导轨推动驱动(6)和托盘推动驱动(7)，所述托盘导轨推动驱动(6)用于驱动炉外托盘导轨(31)沿固定导轨(4)移动以便与炉内托盘导轨(32)对接，所述托盘推动驱动(7)用于驱动托盘(2)从炉外托盘导轨(31)移动至炉内托盘导轨(32)上，所述托盘(2)用于承载载料舟。2.根据权利要求1所述的管式PECVD设备的进出舟装置，其特征在于：所述托盘(2)包括托盘底座(21)和两个绝缘支架(22)，两个绝缘支架(22)设于托盘底座(21)的两端，所述载料舟(8)支撑在两个绝缘支架(22)上，所述托盘底座(21)设有成排布置的滚轮(23)，所述炉外托盘导轨(31)和炉内托盘导轨(32)上均设有可与滚轮(23)配合的导槽(33)。3.根据权利要求2所述的管式PECVD设备的进出舟装置，其特征在于：所述绝缘支架(22)包括三个陶瓷板(221)，三个陶瓷板(221)呈U形结构，两个U形结构的开口相向设置，各U形结构的外侧设有靠板(24)。4.根据权利要求2所述的管式PECVD设备的进出舟装置，其特征在于：所述导槽(33)为V形导槽。5.根据权利要求1至4任意一项所述的管式PECVD设备的进出舟装置，其特征在于：所述炉外托盘导轨(31)底部设有多个滑块(34)，所述滑块(34)滑设于固定导轨(4)上。6.根据权利要求1至4任意一项所述的管式PECVD设备的进出舟装置，其特征在于：所述炉外托盘导轨(31)和炉内托盘导轨(32)之间设有对接定位结构，所述对接定位结构包括定位销(35)和定位凹孔(36)，所述定位销(35)和定位凹孔(36)一个设于炉外托盘导轨(31)上，一个设于炉内托盘导轨(32)上。7.根据权利要求1至4任意一项所述的管式PECVD设备的进出舟装置，其特征在于：所述托盘导轨推动驱动(6)为驱动气缸(61)，所述驱动气缸(61)设于支撑架(1)上。8.根据权利要求2至4任意一项所述的管式PECVD设备的进出舟装置，其特征在于：所述托盘推动驱动(7)包括推舟杆(71)、水平运动模组(72)和竖直运动模组(73)，所述水平运动模组(72)设于支撑架(1)上，所述竖直运动模组(73)设于水平运动模组(72)上，所述推舟杆(71)设于竖直运动模组(73)上，所述推舟杆(71)的推舟端设有插齿(711)，所述托盘底座(21)上设有可与插齿(711)配合的插槽(201)，所述竖直运动模组(73)用于驱动插齿(711)与插槽(201)的离合，所述水平运动模组(72)用于驱动推舟杆(71)推动托盘(2)。9.根据权利要求1至4任意一项所述的管式PECVD设备的进出舟装置，其特征在于：所述支撑架(1)上设有多个纵梁(11)，各纵梁(11)成排间隔