一种用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110565075A(43)申请公布日2019.12.13(21)申请号201910890666.1(22)申请日2019.09.20(71)申请人苏州拓升智能装备有限公司地址215000江苏省苏州市吴中区木渎镇金枫南路1258号B3幢二楼(72)发明人王玉明程海良闫宝洁曾俞衡陈晖谢利华李旺鹏(74)专利代理机构北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)11369代理人韩飞(51)Int.Cl.C23C16/50(2006.01)H01L21/673(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称一种用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置(57)摘要本发明公开了一种用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置，包括：长直状的电极杆，其由刚性导电材料制成；以及分别连接于所述电极杆两端的接电固定组件及电极头，其中，所述接电固定组件由刚性绝缘材料制成，所述接电固定组件安装于炉盖的外侧，从所述接电固定组件引出的电极杆穿过所述炉盖后沿着所述真空反应炉的轴线方向延伸至所述真空反应炉的内部。根据本发明，其相比原有的通过石墨舟角与陶瓷支撑杆上电极转接组件接触方式，可避免多个工艺周期后镀膜(绝缘膜)沉积于石墨舟角、电极转接组件接触区导致电极接触不良问题。CN110565075ACN110565075A权利要求书1/2页1.一种用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置，所述管式PECVD设备包括：管状的真空反应炉(2)，其内部中空并且两端敞开形成左敞口及右敞口；两个炉盖(1)，分别连接到所述真空反应炉(2)的端部以对所述左敞口及右敞口进行封闭；以及绝缘支撑架(6)，其固定安装于所述真空反应炉(2)内，用于承托石墨舟(7)，其特征在于，所述石墨舟电极对接装置包括：长直状的电极杆(3)，其由刚性导电材料制成；以及分别连接于所述电极杆(3)两端的接电固定组件(5)及电极头(4)，其中，所述接电固定组件(5)由刚性绝缘材料制成，所述接电固定组件(5)安装于炉盖(1)的外侧，从所述接电固定组件(5)引出的电极杆(3)穿过所述炉盖(1)后沿着所述真空反应炉(2)的轴线方向延伸至所述真空反应炉(2)的内部。2.如权利要求1所述的用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置，其特征在于，所述电极杆(3)由310S号不锈钢材料制成。3.如权利要求1所述的用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置，其特征在于，所述电极头(4)包括：固定段(41)，其一端与所述电极杆(3)的端部进行可拆卸连接；以及导通段(42)，其固定于所述固定段(41)的另一端，其中，所述导通段(42)上开设有至少一条从其自由端出发向其固定端延伸的细槽(45)，所述细槽(45)在所述导通段(42)的径向方向上贯穿所述导通段(42)，使得所述导通段(42)被所述细槽(45)分割成至少两个分叉(44)。4.如权利要求3所述的用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置，其特征在于，所述固定段(41)的径向尺寸大于所述导通段(42)的径向尺寸，其中，所述固定段(41)与所述导通段(42)之间固接有锥形导向段(43)，该锥形导向段(43)的径向尺寸在从所述固定段(41)出发向所述导通段(42)延伸的方向上呈逐渐收缩之势。5.如权利要求3所述的用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置，其特征在于，所述导通段(42)的外周电镀有镀银层。6.如权利要求1所述的用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置，其特征在于，所述接电固定组件(5)包括：一端固定安装于所述炉盖(1)外侧的电极连接管(51)，其内部中空以形成在轴线方向上贯穿所述电极连接管(51)的连接通孔(511)；与所述电极连接管(51)的另一端同轴固接的电极安装管(52)，其内部中空以形成在轴线方向上贯穿所述电极安装管(52)的安装通孔(521)，其中，所述安装通孔(521)与所述连接通孔(511)在轴向上相连通，所述安装通孔中(521)嵌设有由绝缘材料制成的绝缘安装套(53)，该绝缘安装套(53)从所述电极安装管(52)的端面出发延伸至连接通孔(511)中，电极杆(3)的端部插接入绝缘安装套(53)中并且从所述安装通孔(521)中露出形成接线端子，从所述绝缘安装套(53)引出的电极杆(3)经所述连接通孔(511)穿过所述炉盖(1)后沿着所述真空反应炉(2)的轴线方向延伸至所述真空反应炉(2)的内部。7.如权利要求6所述的用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置，其特征在于，所述2CN110565075A权利要求书2/2页安装通孔(521)的内径小于所述连接通孔(511)的内径。3CN110565075A说明书1/5页一种用于管式PECVD设备的石墨舟电极