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推舟座及管式PECVD设备.pdf

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本实用新型涉及薄膜工艺设备技术领域,提供一种推舟座及管式PECVD设备。推舟座包括连接杆、安装框架及安装组件,所述连接杆适于安装推舟桨,所述安装框架适于连接模组滑块,安装组件设置于所述安装框架,所述安装组件包括竖向设置的第一调节件,所述第一调节件连接所述连接杆的一端,所述第一调节件适于调节所述连接杆的高度。本实用新型提供的推舟座及管式PECVD设备,可以通过第一调节件调节连接杆的高度,由此可以在竖直方向上调节推舟桨,保证推舟桨因石墨舟载片量发生变化时推舟桨不会与炉管发生刮擦,进而可以适应大载片量的生产过程,有效提高生产效率。