一种再生晶圆生产用切片装置.pdf
雨星****萌娃
在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便
相关资料
一种再生晶圆生产用切片装置.pdf
本发明属于晶圆切片技术领域,尤其是一种再生晶圆生产用切片装置,针对现有的切片机在切片过程中容易将切过后的晶圆片卡接在刀片上的问题,现提出以下方案,包括基板和内设空腔呈长方体结构的工作台,所述工作台的上表面靠近边缘固定有支撑架,且支撑架的顶端固定有两根开口相对且互相平行的槽钢横梁,两根所述槽钢横梁之间卡接有同一个矩形滑框,所述矩形滑框的中间卡接有开口向下的固定桶。本发明可以在使用时需要对基板进行切片的时候,只需控制电动推杆二的延伸杆伸长即可带动切刀的底端与基板接触,进而继续下降完成切割,当刀片将切过后的晶圆
一种再生晶圆半导体生产用冷却装置.pdf
本发明属于半导体生产技术领域,尤其是一种再生晶圆半导体生产用冷却装置,针对上述专利中的冷却装置冷却过程的冷却速率无法根据半导体自身的特性进行改变,有时候会有可能冷却过快影响半导体的生产质量问题,现提出以下方案,包括冷却箱,所述冷却箱的内壁通过螺钉固定有圆柱体结构的透气槽,且透气槽底部内壁的中间设置有固定块,所述透气槽的底部内壁通过螺钉固定有等距离环形分布的隔板。本发明当转板上的晶圆半导体转动分别经过第一冷却腔、第二冷却腔和第三冷却腔受到冷却气体的量依次增加,能够使得晶圆半导体在冷却的过程中有一个适应的过程
一种效果好的圆晶激光切片装置.pdf
本发明涉及一种效果好的圆晶激光切片装置,包括底座、支杆、驱动机构、切片机构、夹持机构和推料机构,该效果好的圆晶激光切片装置,通过夹持机构对工件进行夹持,运行驱动机构,驱动机构驱动切片机构和推料机构间歇运行,从而对工件进行推料和切片,与现有的夹持机构相比,该夹持机构对工件采用柔性夹持,避免了刚性夹持划花工件,对工件进行保护,与现有的切片装置相比,该装置通过一个输出端实现工件的推料和激光切割器的移动,节省了能源,同时切片机构和推料机构采用联动,实现工件的在线推料和切片,提高了效率,且该联动采用纯机械结构,避免
一种晶圆生产用外径滚磨装置.pdf
本发明涉及晶圆生产加工附属装置的技术领域,特别是涉及一种晶圆生产用外径滚磨装置,其可以对硅晶柱进行同心夹紧调节,提高硅晶柱打磨直径的精确度,减少人为因素,导致其使用可靠性较低;并且提高打磨面积,同时减轻人力,提高打磨效率,提高实用性;包括工作板、左支撑板、右支撑板、顶板、左转轴、右转轴、带动电机、左调节板、左夹紧圆盘、右夹紧圆盘、四组第一支撑滑柱、第一调节丝杠、第一调节手轮、四组第一夹紧螺栓、四组第二夹紧螺栓、上调节板、下调节板、四组第二支撑滑柱、第二调节丝杠、第二调节手轮、压板、左前支撑杆、左后支撑杆、
一种再生晶圆半导体加工装置.pdf
本发明属于晶圆半导体技术领域,尤其是一种再生晶圆半导体加工装置,针对现有技术中对晶圆表现的抛光效果差的问题,现提出以下方案,包括底座,所述底座的顶部固定有放置座,所述底座顶部的一端固定有升降架,且升降架靠近放置座的一端连接有顶板,所述顶板的底部固定有竖直放置的驱动电机,且驱动电机的输出轴固定有水平放置的抛光座,抛光座的底部固定有抛光布,所述抛光座的底部开设有多个滑槽,且滑槽的顶部内壁固定有气缸。本发明中,利用气缸下降抵块将抛光布的局部位置下压,而使抛光座底部在同一水平面进行转动抛光时,下降抵块所处的弧面下