一种效果好的圆晶激光切片装置.pdf
Ja****44
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一种效果好的圆晶激光切片装置.pdf
本发明涉及一种效果好的圆晶激光切片装置,包括底座、支杆、驱动机构、切片机构、夹持机构和推料机构,该效果好的圆晶激光切片装置,通过夹持机构对工件进行夹持,运行驱动机构,驱动机构驱动切片机构和推料机构间歇运行,从而对工件进行推料和切片,与现有的夹持机构相比,该夹持机构对工件采用柔性夹持,避免了刚性夹持划花工件,对工件进行保护,与现有的切片装置相比,该装置通过一个输出端实现工件的推料和激光切割器的移动,节省了能源,同时切片机构和推料机构采用联动,实现工件的在线推料和切片,提高了效率,且该联动采用纯机械结构,避免
一种再生晶圆生产用切片装置.pdf
本发明属于晶圆切片技术领域,尤其是一种再生晶圆生产用切片装置,针对现有的切片机在切片过程中容易将切过后的晶圆片卡接在刀片上的问题,现提出以下方案,包括基板和内设空腔呈长方体结构的工作台,所述工作台的上表面靠近边缘固定有支撑架,且支撑架的顶端固定有两根开口相对且互相平行的槽钢横梁,两根所述槽钢横梁之间卡接有同一个矩形滑框,所述矩形滑框的中间卡接有开口向下的固定桶。本发明可以在使用时需要对基板进行切片的时候,只需控制电动推杆二的延伸杆伸长即可带动切刀的底端与基板接触,进而继续下降完成切割,当刀片将切过后的晶圆
一种激光晶圆打标装置.pdf
本发明提供了一种激光晶圆打标装置,其在进行激光打标之前,沿着打标的移动方向,第一密封腔内释放氮气清洁气体,对晶圆上预先残留物进行清扫,同时利用真空抽气进行残留物的排出;在进行激光打标时,沿着打标的移动方向,第二密封腔内释放氮气清洁气体,对堆积物进行清扫,同时利用真空抽气进行堆积物的排出。这样能够防止晶圆划伤或割断。
一种晶圆切片蚀刻设备.pdf
本发明公开了一种晶圆切片蚀刻设备,其结构包括加工座、喷液头、排气管、增压泵、控制器、储液箱、设备箱,加工座表面与喷液头下端间隙配合,喷液头与增压泵内部活动配合,增压泵下端与储液箱内部嵌套连接,控制器与设备箱上端螺栓固定,排气管与设备箱右侧嵌套配合,排气管与加工座内部活动配合,增压泵与控制器内部间隙配合,加工座包括蚀刻座、辅助转环、转动机、导流管道、出水接头,本发明通过旋转的蚀刻盘体与载盘,在旋转的同时通过离心力的带动将其推动块甩出对蚀刻液与晶圆反应出来金属残留物在引流槽上进行来回推动,以至将其金属残留物被
一种晶圆切片机圆边打磨设备.pdf
本发明公开了一种晶圆切片机圆边打磨设备,其结构包括机体、保护罩、打磨盘,保护罩安装在机体顶部,打磨盘位于保护罩内部,由于在抛光打磨的过程中产生的晶圆切片边角料堆积在打磨盘凹陷的表面,通过推动机构的推板在凹槽底部来回移动,推片将滞留在凹槽底部的边角料往凹槽外部推动,有利于减小打磨盘的承受力,加快打磨盘的转速,加快对晶圆切片圆角打磨抛光的速度,由于边角料受到重力作用易往下掉落至引流槽内部,通过引流槽内部的浮动块随着气流的扩散在引流槽内部来回移动,使得引流槽呈畅通和关闭状,有利于气流通过,且能够对边角料阻挡,减