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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109277912A(43)申请公布日2019.01.29(21)申请号201811208676.4B24B41/06(2012.01)(22)申请日2018.10.17(71)申请人江苏英锐半导体有限公司地址224000江苏省盐城市盐城经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房(72)发明人王昌华(74)专利代理机构常州市权航专利代理有限公司32280代理人袁兴隆(51)Int.Cl.B24B21/02(2006.01)B24B21/20(2006.01)B24B21/18(2006.01)B24B55/08(2006.01)权利要求书3页说明书8页附图4页(54)发明名称一种晶圆生产用外径滚磨装置(57)摘要本发明涉及晶圆生产加工附属装置的技术领域,特别是涉及一种晶圆生产用外径滚磨装置,其可以对硅晶柱进行同心夹紧调节,提高硅晶柱打磨直径的精确度,减少人为因素,导致其使用可靠性较低;并且提高打磨面积,同时减轻人力,提高打磨效率,提高实用性;包括工作板、左支撑板、右支撑板、顶板、左转轴、右转轴、带动电机、左调节板、左夹紧圆盘、右夹紧圆盘、四组第一支撑滑柱、第一调节丝杠、第一调节手轮、四组第一夹紧螺栓、四组第二夹紧螺栓、上调节板、下调节板、四组第二支撑滑柱、第二调节丝杠、第二调节手轮、压板、左前支撑杆、左后支撑杆、右前支撑杆、右后支撑杆、前支撑轴、后支撑轴、打磨砂带、四组第三支撑滑柱和四组压紧弹簧。CN109277912ACN109277912A权利要求书1/3页1.一种晶圆生产用外径滚磨装置,包括工作板(1);其特征在于,包括左支撑板(2)、右支撑板、顶板(3)、左转轴(4)、右转轴、带动电机(5)、左调节板(6)、左夹紧圆盘(7)、右夹紧圆盘、四组第一支撑滑柱(8)、第一调节丝杠(9)、第一调节手轮(10)、四组第一夹紧螺栓(11)和四组第二夹紧螺栓,所述左支撑板(2)和右支撑板的底端分别与所述工作板(1)顶端的左侧和右侧连接,并且左支撑板(2)和右支撑板的顶端分别与所述顶板(3)底端的左侧和右侧连接,所述左支撑板(2)左端的上前侧、上后侧、下前侧和下后侧均横向设置有左右贯穿的第一滑动通孔,所述四组第一支撑滑柱(8)的右端均自左支撑板(2)的左端分别可滑动穿过四组第一滑动通孔内部并伸出至左支撑板(2)的右端外界,所述左调节板(6)位于所述左支撑板(2)的右侧,并且所述四组第一支撑滑柱(8)的右端分别与所述左调节板(6)左端的上前侧、上后侧、下前侧和下后侧连接,所述左支撑板(2)的左端横向设置有第一调节通孔,并且所述第一调节通孔位于所述四组第一滑动通孔中部,所述第一调节丝杠(9)的右端自左支撑板(2)的左端横向穿过第一调节通孔内部并伸出至左支撑板(2)的右端外节与所述左调节板(6)的左端中部连接,所述第一调节手轮(10)中部横向设置有左右贯穿的第一螺纹通孔,并且第一调节手轮(10)通过第一螺纹通孔螺装套设在第一调节丝杠(9)的外部右侧,第一调节手轮(10)的左端与所述支撑板的右端接触,左调节板(6)的右端中部设置有调节槽,并且调节槽的固定设置有滚珠轴承,所述左转轴(4)的左端插入并固定安装至滚珠轴承内部,所述左夹紧圆盘(7)的左端与所述左转轴(4)的右端同心连接,所述左夹紧圆盘(7)的右端设置有左圆形放置槽,并且左圆形放置槽圆周内侧壁的顶端、底端、前端和后端均设置有与外界相通的第二螺纹通孔,所述四组第一夹紧螺栓(11)的一端分别自左夹紧圆盘(7)圆周外壁的顶端、底端、前端和后端分别螺装穿过四组第二螺纹通孔内部并旋进至左圆形放置槽内部,并且四组第一夹紧螺栓(11)的一端均指向左圆形放置槽内部的中心轴线位置,所述带动电机(5)安装在所述右支撑板的右端中部,并且所述右转轴的右端自右支撑板的左端横向穿过右支撑板的内部并伸出至右支撑板的右端外界与所述带动电机(5)的左部输出端同心连接,所述左转轴(4)和右转轴同心设置,所述右夹紧圆盘的右端与所述右转轴的左端同心连接,并且右夹紧圆盘的左端设置有右圆形放置槽,并且右圆形放置槽圆周内侧壁的顶端、底端、前端和后端均设置有与外界相通的第三螺纹通孔,所述四组第二夹紧螺栓的一端分别自右夹紧圆盘圆周外壁的顶端、底端、前端和后端分别螺装穿过四组第三螺纹通孔内部并旋进至右圆形放置槽内部,并且四组第二夹紧螺栓的一端均指向右圆形放置槽内部的中心轴线位置;还包括上调节板(12)、下调节板、四组第二支撑滑柱(13)、第二调节丝杠(14)、第二调节手轮(15)、压板(16)、左前支撑杆(17)、左后支撑杆、右前支撑杆、右后支撑杆、前支撑轴(18)、后支撑轴、打磨砂带(19)、四组第三支撑滑柱(20)和四组压紧弹簧(21),所述上调节板