一种晶圆生产用外径滚磨装置.pdf
雨巷****凝海
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一种晶圆生产用外径滚磨装置.pdf
本发明涉及晶圆生产加工附属装置的技术领域,特别是涉及一种晶圆生产用外径滚磨装置,其可以对硅晶柱进行同心夹紧调节,提高硅晶柱打磨直径的精确度,减少人为因素,导致其使用可靠性较低;并且提高打磨面积,同时减轻人力,提高打磨效率,提高实用性;包括工作板、左支撑板、右支撑板、顶板、左转轴、右转轴、带动电机、左调节板、左夹紧圆盘、右夹紧圆盘、四组第一支撑滑柱、第一调节丝杠、第一调节手轮、四组第一夹紧螺栓、四组第二夹紧螺栓、上调节板、下调节板、四组第二支撑滑柱、第二调节丝杠、第二调节手轮、压板、左前支撑杆、左后支撑杆、
一种再生晶圆生产用切片装置.pdf
本发明属于晶圆切片技术领域,尤其是一种再生晶圆生产用切片装置,针对现有的切片机在切片过程中容易将切过后的晶圆片卡接在刀片上的问题,现提出以下方案,包括基板和内设空腔呈长方体结构的工作台,所述工作台的上表面靠近边缘固定有支撑架,且支撑架的顶端固定有两根开口相对且互相平行的槽钢横梁,两根所述槽钢横梁之间卡接有同一个矩形滑框,所述矩形滑框的中间卡接有开口向下的固定桶。本发明可以在使用时需要对基板进行切片的时候,只需控制电动推杆二的延伸杆伸长即可带动切刀的底端与基板接触,进而继续下降完成切割,当刀片将切过后的晶圆
一种车桥轴承生产用的外径圆度检测装置.pdf
本发明涉及车桥轴承外径圆度检测技术领域,且公开了一种车桥轴承生产用的外径圆度检测装置,包括机架,所述机架上侧固定安装有固定板,所述驱动机构安装于机架上,多个所述传动机构均安装于固定板上,且多个所述传动机构一侧分别与驱动机构相连接,所述传动机构包括传动齿轮;该车桥轴承生产用的外径圆度检测装置,压板将车桥轴承内壁抵紧限位,有效将车桥轴承进行限位,适用于不同直径大小的车桥轴承,实用性更强,对车桥轴承的外径圆度检测更加稳定,检测更加准确,自动化程度高,减少人工操作,有效提高检测效率,同时通过设置有多个限位机构和压
一种高精度半导体晶圆片外径研磨装置.pdf
本发明公开了一种高精度半导体晶圆片外径研磨装置,包括研磨箱、夹持定位机构、可调式研磨机构、清洁机构,夹持定位机构设于研磨箱内,夹持定位机构包括定位支撑板,定位支撑板位于研磨箱内的一侧连接有一对升降支撑杆,一对升降支撑杆的外侧均设有限位支撑柱,定位支撑板的两侧均设有支撑块,一对支撑块相贴近的一侧均设有夹紧锥,夹紧锥与支撑块之间连接有驱动转轴。本发明通过对半导体晶圆片外径研磨装置设置相应的可调式研磨机构,可根据实际情况对硅晶棒进行可调式研磨,显著提高了对硅晶棒外径进行研磨的效率,避免了硅晶棒在研磨过程中出现研
一种再生晶圆半导体生产用冷却装置.pdf
本发明属于半导体生产技术领域,尤其是一种再生晶圆半导体生产用冷却装置,针对上述专利中的冷却装置冷却过程的冷却速率无法根据半导体自身的特性进行改变,有时候会有可能冷却过快影响半导体的生产质量问题,现提出以下方案,包括冷却箱,所述冷却箱的内壁通过螺钉固定有圆柱体结构的透气槽,且透气槽底部内壁的中间设置有固定块,所述透气槽的底部内壁通过螺钉固定有等距离环形分布的隔板。本发明当转板上的晶圆半导体转动分别经过第一冷却腔、第二冷却腔和第三冷却腔受到冷却气体的量依次增加,能够使得晶圆半导体在冷却的过程中有一个适应的过程