一种再生晶圆半导体生产用冷却装置.pdf
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一种再生晶圆半导体生产用冷却装置.pdf
本发明属于半导体生产技术领域,尤其是一种再生晶圆半导体生产用冷却装置,针对上述专利中的冷却装置冷却过程的冷却速率无法根据半导体自身的特性进行改变,有时候会有可能冷却过快影响半导体的生产质量问题,现提出以下方案,包括冷却箱,所述冷却箱的内壁通过螺钉固定有圆柱体结构的透气槽,且透气槽底部内壁的中间设置有固定块,所述透气槽的底部内壁通过螺钉固定有等距离环形分布的隔板。本发明当转板上的晶圆半导体转动分别经过第一冷却腔、第二冷却腔和第三冷却腔受到冷却气体的量依次增加,能够使得晶圆半导体在冷却的过程中有一个适应的过程
一种再生晶圆生产用切片装置.pdf
本发明属于晶圆切片技术领域,尤其是一种再生晶圆生产用切片装置,针对现有的切片机在切片过程中容易将切过后的晶圆片卡接在刀片上的问题,现提出以下方案,包括基板和内设空腔呈长方体结构的工作台,所述工作台的上表面靠近边缘固定有支撑架,且支撑架的顶端固定有两根开口相对且互相平行的槽钢横梁,两根所述槽钢横梁之间卡接有同一个矩形滑框,所述矩形滑框的中间卡接有开口向下的固定桶。本发明可以在使用时需要对基板进行切片的时候,只需控制电动推杆二的延伸杆伸长即可带动切刀的底端与基板接触,进而继续下降完成切割,当刀片将切过后的晶圆
一种再生晶圆半导体加工装置.pdf
本发明属于晶圆半导体技术领域,尤其是一种再生晶圆半导体加工装置,针对现有技术中对晶圆表现的抛光效果差的问题,现提出以下方案,包括底座,所述底座的顶部固定有放置座,所述底座顶部的一端固定有升降架,且升降架靠近放置座的一端连接有顶板,所述顶板的底部固定有竖直放置的驱动电机,且驱动电机的输出轴固定有水平放置的抛光座,抛光座的底部固定有抛光布,所述抛光座的底部开设有多个滑槽,且滑槽的顶部内壁固定有气缸。本发明中,利用气缸下降抵块将抛光布的局部位置下压,而使抛光座底部在同一水平面进行转动抛光时,下降抵块所处的弧面下
一种半导体晶圆冷却设备.pdf
本发明涉及半导体生产设备的技术领域,特别是涉及一种半导体晶圆冷却设备,其通过对晶圆进行连续自动冷却处理,可方便提高晶圆温度下降速度,缩短晶圆冷却时间,提高工作效率;包括冷却仓和环形导轨,冷却仓的内壁前下侧连通设置有安装槽,冷却仓的左侧和右侧均连通设置有料口,两组料口的前下侧均延伸至安装槽的左侧和右侧,环形导轨的前侧位于冷却仓的前方,环形导轨的后侧穿过两组料口并位于安装槽内,环形导轨的前侧和后侧均匀设置有多组第一支撑杆。
一种晶圆生产切割用冷却设备.pdf
本发明涉及机械设备的技术领域,特别是涉及一种晶圆生产切割用冷却设备,其通过对晶圆进行自动拦截冷却处理,可方便使晶圆温度快速降低,缩短其冷却时间,提高工作效率,同时避免晶圆长静置冷却时,外界空气中的杂质对其造成的污染,方便对晶圆进行保护,提高实用性和可靠性;包括工作台、四组支腿和三组封板,四组支腿均安装在工作台的底部,工作台的顶部左侧设置有推送装置,三组封板环形均匀安装在推送装置的外侧,三组封板的方向相对,每组封板的外部上侧均设置有两组第一推杆。