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用于气相沉积设备的晶圆承载装置.pdf
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一种用于气相沉积设备的晶圆承载装置，包括转轴及旋转盘。转轴用以提供公转，旋转盘连接该转轴，周边辐射状环设多个开口。开口的任一周缘环设一段差部，其周缘环设凹槽，凹槽内分布滚珠，滚珠直径不大于凹槽的宽度，但大于凹槽的深度。环绕凹槽周缘的侧壁上设有传动机构。支撑架固设于段差部上，支撑架顶面中心具有第一结构。晶圆托盘顶面用以承载晶圆，底面中心具有第二结构，用以嵌合支撑架的第一结构，晶圆托盘周檐置放于凹槽上的滚珠上，通过传动机构驱动晶圆托盘旋转。
2023-05-31
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晶圆旋转装置及化学气相沉积设备.pdf
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晶圆加热转移装置和化学气相沉积设备.pdf
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用于化学气相沉积设备的馈通装置.pdf
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