一种改善硅片外延倒角层倒角设备及操作方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113787408A(43)申请公布日2021.12.14(21)申请号202111170724.7(22)申请日2021.10.08(71)申请人杭州中欣晶圆半导体股份有限公司地址311201浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号(72)发明人高洪涛(74)专利代理机构杭州融方专利代理事务所(普通合伙)33266代理人沈相权(51)Int.Cl.B24B9/06(2006.01)B24B47/04(2006.01)B24B41/06(2012.01)B24B41/00(2006.01)B24B41/02(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图4页(54)发明名称一种改善硅片外延倒角层倒角设备及操作方法(57)摘要本发明公开了一种改善硅片外延倒角层倒角设备及操作方法，包括支撑架，所述安装板的一侧贯穿有送料盒，所述支撑架内腔的顶部固定有安装架，所述安装架的内表面转动连接有螺纹杆，通过在安装板上贯穿设置准心斗，利用准心斗内表面的推块，当第二电动伸缩杆进行第一次伸长时，能够使得准心块与硅片相接触并处于水平状态，当第二电动伸缩杆进行缩短时，由于硅片是水片的，因此在准心块下落的过程中，硅片偏移的一侧会被准心斗的内壁推动，同时保持在推块上的水平状态，当处于硅片的一周与准心斗的内壁相接触，此时的硅片处于准心斗的中心位置，此结构较为简单，而且不会对硅片造成损害，易于推广。CN113787408ACN113787408A权利要求书1/2页1.一种改善硅片外延倒角层倒角设备，包括支撑架（1），其特征在于，所述安装板（4）的一侧贯穿有送料盒（5），所述支撑架（1）内腔的顶部固定有安装架（6），所述安装架（6）的内表面转动连接有螺纹杆（8），安装架（6）的一侧固定连接有转动电机（7），转动电机（7）的输出端与螺纹杆（8）的一端固定连接，所述螺纹杆（8）的外表面螺纹连接有螺纹块（10），所述螺纹块（10）的底部固定连接有电动推杆（11），所述电动推杆（11）的输出端通过密封轴承转动连接有吸盘（12），所述支撑架（1）底部的另一侧固定连接有第二电动伸缩杆（16），所述安装板（4）的顶部且位于送料盒（5）的一侧贯穿有准心斗（17），所述准心斗（17）的内表面滑动连接有推块（18）。2.根据权利要求1所述的一种改善硅片外延倒角层倒角设备,其特征在于，所述支撑架（1）的顶部固定连接有真空泵（13），所述真空泵（13）的输气端连通有软管（14）,所述软管（14）的一端与吸盘（12）的内部连通。3.根据权利要求2所述的一种改善硅片外延倒角层倒角设备,其特征在于，所述支撑架（1）内壁的左右两侧均设置有定位板（15），所述安装板（4）的另一侧设置有倒角组件（19）。4.根据权利要求3所述的一种改善硅片外延倒角层倒角设备,其特征在于，所述倒角组件（19）包贯穿安装板（4）的固定套（197）和位于安装板（4）上的滑动槽（194），所述固定套（197）的内表面转动连接有转动轴（192），所述滑动槽（194）的内表面滑动连接有滑动套（193），所述滑动套（193）的内表面转动连接有滑动轴（191），所述滑动轴（191）的顶端固定连接有支撑板（195），所述转动轴（192）的顶端固定连接有打磨盘（196）。5.根据权利要求4所述的一种改善硅片外延倒角层倒角设备,其特征在于，所述滑动轴（191）的外表面固定连接有第一槽轮（198），所述转动轴（192）的外表面固定连接有第二槽轮（199），所述支撑架（1）内腔的底部固定连接有驱动电机（1916），所述驱动电机（1916）的输出端固定连接有蜗杆（1917），所述安装板（4）与支撑架（1）内腔的底部之间滑动连接有驱动轴（1914），所述驱动轴（1914）外表面的下方设置有蜗轮（1915），所述蜗杆（1917）的外表面与蜗轮（1915）的外表面相啮合。6.根据权利要求5所述的一种改善硅片外延倒角层倒角设备,其特征在于，所述驱动轴（1914）的顶端和底端均开设有滚槽，滚槽的内表面滚动连接有滚珠（1918），所述安装板（4）的底部与支撑架（1）内腔的底部均开设有行程槽（1923）。7.根据权利要求6所述的一种改善硅片外延倒角层倒角设备,其特征在于，所述驱动轴（1914）外表面的上方固定连接有驱动槽轮（1910），所述第一槽轮（198）、第二槽轮（199）和驱动槽轮（1910）的外表面之间设置有V形带（1911），所述支撑架（1）的内壁的一侧贯穿有伸缩气缸（1912），所述伸缩气缸（1912）的输出端固定连接有转动套（1913），所述转动套（1913）的外表面与驱动轴（1914）的内表面转动连接。8.根据权利要求7所述的一种改善硅片外延倒角层倒角设备，所述滑动轴（