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自动晶圆表面平整度检测装置.pdf
2023-05-30
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是丹****ni
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本发明涉及一种自动晶圆表面平整度检测装置，以解决晶圆平整度检测装置需要通过人工干预进行测量，不便使用的问题，以获得整个晶圆面内精确的平整度信息，确保整个晶圆内曝光后的图形质量。该自动晶圆表面平整度检测装置，结构包括：壳体和支撑架，所述壳体固定在支撑架上，所述支撑架前端安装机械臂工作平台，后端安装三个隔振元件。所述机械臂工作平台安装有机械臂和晶圆盒固定装置。所述隔振元件支撑干涉仪框架，所述干涉仪框架上固定有一个斐索型高精度激光干涉仪，所述激光干涉仪下方安装真空吸盘吸附晶圆和一个移动平台带动真空吸盘靠近和远离
2023-05-30
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