一种晶圆流片表面平整度检测装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109029335A(43)申请公布日2018.12.18(21)申请号201811060251.3(22)申请日2018.09.12(71)申请人江苏英锐半导体有限公司地址224002江苏省盐城市经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房(72)发明人王昌华(74)专利代理机构常州市权航专利代理有限公司32280代理人袁兴隆(51)Int.Cl.G01B21/30(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图4页(54)发明名称一种晶圆流片表面平整度检测装置(57)摘要本发明涉及晶圆流片检测附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片表面平整度检测装置，其方便对晶圆流片进行固定，并且防止晶圆流片由于受力不均衡而发生变形的情况，保证检测精度的精准性；同时方便对晶圆流片的表面进行多点取样，得出的检测结果更具有代表性，提高实用性；包括检测箱、检测数据分析仪、放置台、旋转电机、固定环、三组夹持杆、三组“C”型弹片、支撑板、左支板、右支板、调节轴和蜗杆，还包括转轴、第一滚珠轴承、第二滚珠轴承、第三滚珠轴承、第四滚珠轴承、涡轮、放置板和调节圆板，放置圆板的外侧均匀设置有三组半圆凸起，还包括驱动电机、丝杠、限位杆、滑板和、检测探头、第五滚珠轴承和第六滚珠轴承。CN109029335ACN109029335A权利要求书1/2页1.一种晶圆流片表面平整度检测装置，包括检测箱（1），检测箱（1）的内部设置有工作腔，检测箱（1）的顶端设置有检测数据分析仪（2），检测箱（1）的前端设置有取放口；其特征在于，还包括放置台（3）、旋转电机（4）、固定环（5）、三组夹持杆（6）、三组“C”型弹片（7）、支撑板（8）、左支板（9）、右支板（10）、调节轴（11）和蜗杆（12），所述工作腔的内底壁上设置有安装槽，所述旋转电机（4）固定安装在安装槽内，并在旋转电机（4）的顶部输出端设置有转轴（13），所述转轴（13）的顶端与支撑板（8）的底端中部连接，所述左支板（9）和右支板（10）的顶端分别与放置台（3）底端的左侧和右侧连接，左支板（9）和右支板（10）的底端分别与支撑板（8）顶端的左侧和右侧连接，并在左支板（9）的右端设置有第一放置槽，所述第一放置槽内固定安装有第一滚珠轴承（14），所述右支板（10）上设置有左右贯通的第一安装通孔，并在第一安装通孔内固定安装有第二滚珠轴承（15），所述蜗杆（12）的左端自左支板（9）的右端插入至第一滚珠轴承（14）内部，蜗杆（12）的右端自右支板（10）的左端穿过第二滚珠轴承（15）至右支板（10）的右侧，所述支撑板（8）的顶端中部设置有第二放置槽，并在第二放置槽的内部固定安装有第三滚珠轴承（16），所述放置台（3）的中部设置有上下贯通的第二安装通孔，并在第二安装通孔内固定安装有第四滚珠轴承（17），所述调节轴（11）的底端自放置台（3）的顶端穿过第四滚珠轴承（17）至放置台（3）的下方并插入至第三滚珠轴承（16）内部，并在调节轴（11）的外侧套设有涡轮（18），所述涡轮（18）的前端与蜗杆（12）的后端啮合，调节轴（11）的顶部设置有放置板（19），调节轴（11）的外侧固定安装有调节圆板（20），所述调节圆板（20）位于放置台（3）和放置板（19）之间，所述固定环（5）的底端与放置台（3）的顶端固定连接，所述三组夹持杆（6）的一端均与固定环（5）的内圈铰接，三组夹持杆（6）的另一端顶部均设置有夹持柱（21），并且三组夹持杆（6）等角度均匀设置在固定环（5）的内圈，所述三组“C”型弹片（7）的一端分别与三组夹持杆（6）的外侧连接，三组“C”型弹片（7）的另一端均与固定环（5）的内圈连接，所述放置圆板的外侧均匀设置有三组半圆凸起（22），所述三组半圆凸起（22）分别与三组夹持杆（6）的内侧贴紧；还包括驱动电机（23）、丝杠（24）、限位杆（25）、滑板（26）和检测探头（27），所述工作腔的左侧壁顶部设置有第三放置槽，并在第三放置槽内固定安装有第五滚珠轴承（28），所述检测箱（1）的右侧壁上设置有第三安装通孔，并在第三安装通孔内固定安装有第六滚珠轴承（29），所述驱动电机（23）安装在检测箱（1）的右端顶部，所述滑板（26）的前部和后部分别设置有左右贯通的螺纹管的限位孔，所述丝杠（24）的左端自滑板（26）的右端螺装穿过螺纹孔至滑板（26）的左侧并插入至第五滚珠轴承（28）内部，丝杠（24）的右端自工作腔内穿过第六滚珠轴承（29）伸出至工作腔外部并与驱动电机（23）的左侧输出端传动连接，所述限位杆（25）的左端与工作腔的左侧壁顶部连接，限位杆（25）的右端自滑板（26）的左端穿过限位孔至滑板（26）的右侧并与工作腔的右侧壁顶部连接，所述检测探头