法兰密封面就地研磨方法及其专用研磨装置.pdf
一吃****仕龙
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法兰密封面就地研磨方法及其专用研磨装置.pdf
本发明涉及一种法兰密封面就地研磨方法:1)在端部设置有法兰的套筒内部焊接研磨支撑基础结构;2)以研磨支撑基础结构为基座设置支撑结构;3)在法兰口安装研磨盘,研磨盘上表面为与法兰密封面接触的研磨面;4)研磨盘下侧设置顶升机构来保持研磨盘对密封面的摩擦力;5)研磨完成后研磨装置全部移除;本发明还提供了上述法兰密封面就地研磨方法的专用研磨装置,包括基座和研磨盘,基座包括固定盘,固定盘中心固接支撑杆;固定盘设置于套筒内部;支撑杆向套筒外延伸;研磨盘活动套装于支撑杆上并设置于法兰口;支撑杆外端设有调压托盘,调压托盘
研磨装置及其研磨方法.pdf
本发明公开了一种研磨装置及其研磨方法,其中研磨装置包含承载盘、至少一个被研磨物、砂轮盘及多个研磨齿。承载盘旋转工作。至少一个被研磨物定位于承载盘上。砂轮盘相对应承载盘旋转工作。多个研磨齿连接砂轮盘,多个研磨齿接触研磨被研磨物,各研磨齿研磨于被研磨物的表面上而产生研磨面积,各研磨齿与对应的虚拟放射线相交一研磨角度,虚拟放射线与砂轮盘的中心相交且与相对应研磨齿的中心相交,且研磨角度大于0度且小于35度。借此,本发明的研磨装置及其研磨方法,利用特殊的研磨角度配合相对应参数,可使被研磨物的表面产生较大的研磨面积、
研磨轮、研磨装置及研磨方法.pdf
本发明公开了一种研磨装置,包括至少两个研磨轮,所述至少两个研磨轮的目数不同,所述目数是指研磨轮表面的单位面积内的研磨颗粒的数目;目数不同的所述至少两个研磨轮,用于依目数从小到大的顺序对待研磨物进行研磨;其中,所述研磨轮包括用于容纳并研磨待研磨物的研磨槽;所述研磨槽设置在所述研磨轮的外周面,且在所述研磨轮轴线所处平面内,所述研磨槽的截面形状为等腰梯形,且所述研磨槽的开口角度为30°~60°。本发明还公开了一种研磨轮和研磨方法。本发明提出的研磨轮、研磨装置及研磨方法,能够达到较好的研磨效果。
研磨装置及研磨方法.pdf
一种研磨装置具有:用于支撑具有研磨面(10a)的研磨块(10)的研磨台(12);具有顶环(14)的顶环头(16);包围顶环头(16)的顶环头罩壳(24);具有砂轮修整工具(20)的砂轮修整工具头(22);包围所述砂轮修整工具头的砂轮修整工具头罩壳(30a、30b、30c);当顶环处于基板交接位置时将清洗液喷雾到顶环的上表面及顶环头罩壳的外表面的喷雾喷嘴(58、60、62);以及当砂轮修整工具处于退让位置时将清洗液喷雾到砂轮修整工具头罩壳(30a、30b、30c)的外表面的喷雾喷嘴(62、64、66)。本发
研磨装置及研磨方法.pdf
本发明提供一种研磨装置及研磨方法,本发明的双头研磨加工装置(1)具备:主轴驱动部(30),其使可安装砂轮(10)的主轴(31)旋转;移动部(90),其使主轴驱动部(30)沿接近远离晶片(W)的方向移动;及倾斜测量部(60),其测量主轴驱动部(30)的移动所伴随的主轴(31)的倾斜的变化。