菱形硅片载片舟的冷却装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110306169A(43)申请公布日2019.10.08(21)申请号201910685447.X(22)申请日2019.07.27(71)申请人普乐新能源（蚌埠）有限公司地址233030安徽省蚌埠市汤和路268号(72)发明人王杨阳王红美章新良孙嵩泉(74)专利代理机构蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司34102代理人张建宏和聚龙(51)Int.Cl.C23C16/458(2006.01)C23C16/46(2006.01)H01L21/67(2006.01)H01L21/673(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图5页(54)发明名称菱形硅片载片舟的冷却装置(57)摘要本发明给出了一种菱形硅片载片舟的冷却装置；包括底座、风冷组件、两个支架和若干销轴；两个支架分别固定连接在底座上端面两侧，若干销轴分为两组，两组销轴分别固定在两个支架上，两组销轴相对布置，两组轴销与载片舟的底部配合且两组轴销用于支撑载片舟；风冷组件包括若干风冷管，风冷管一端与气源连接，风冷管另一端封闭，风冷管表面开有若干风冷孔，所述风冷孔对准载片舟上的菱形硅片。若干销轴支撑载片舟，气源向风冷组件的风冷管输送冷风介质，再从风冷孔吹出对载片舟上的菱形硅片进行冷却，加速了对菱形硅片的冷却作业，提升了工作效率。CN110306169ACN110306169A权利要求书1/1页1.一种菱形硅片载片舟的冷却装置，其特征为：包括底座、风冷组件、两个支架和若干销轴；两个支架分别固定连接在底座上端面两侧，若干销轴分为两组，两组销轴分别固定在两个支架上，两组销轴相对布置，两组轴销与载片舟的底部配合且两组轴销用于支撑载片舟；风冷组件包括若干风冷管，风冷管一端与气源连接，风冷管另一端封闭，风冷管表面开有若干风冷孔，所述风冷孔对准载片舟上的菱形硅片。2.根据权利要求1所述的菱形硅片载片舟的冷却装置，其特征是：所述的风冷组件包括至少一个第一风冷管和至少一个第二风冷管，所述第一风冷管为直管状，第一风冷管一端与气源连接，第一风冷管另一端封闭，第一风冷管的侧壁开有若干第一风冷孔，所述第一风冷孔对准载片舟上的菱形硅片下端角处，第一风冷管固定连接在底座上；所述第二风冷管包括第一管体、第二管体和折弯管体，第一管体、第二管体相互平行，折弯管体连通第一管体和第二管体，处于下侧的第一管体固定在底座上，第一管体的端部与气源连接，处于上侧的第二管体侧壁开有若干第二风冷孔，所述第二风冷孔对准载片舟上的菱形硅片侧端角处。2CN110306169A说明书1/2页菱形硅片载片舟的冷却装置技术领域[0001]本发明涉及一种菱形硅片载片舟的冷却装置。背景技术[0002]在低压化学气相沉积镀膜中，先将工件放置在载片舟上，载片舟的支撑结构一般为多杆框架结构，并且设置若干放置工件的工位，行业内菱形硅片放置载片舟上时，需要竖直摆放，再将载片舟连通工件一起放入真空管式炉(即LPCVD)，沉积物在沉积到工件表面，完成镀膜作业，载片舟在完成真空管式炉作业后，温度很高，需要冷却后才能转移至下一个工作位。但是现有的载片舟冷却都是通过自然冷却，常常耗费大量时间，影响加工效率，而且可能由于冷却不均匀，减小硅片因温差造成的变形。发明内容[0003]本发明所要解决的技术问题是提供一种冷却时间短、冷却效果均匀的菱形硅片载片舟的冷却装置。[0004]为解决上述技术问题，本发明提供了一种菱形硅片载片舟的冷却装置；[0005]包括底座、风冷组件、两个支架和若干销轴；[0006]两个支架分别固定连接在底座上端面两侧，若干销轴分为两组，两组销轴分别固定在两个支架上，两组销轴相对布置，两组轴销与载片舟的底部配合且两组轴销用于支撑载片舟；[0007]风冷组件包括若干风冷管，风冷管一端与气源连接，风冷管另一端封闭，风冷管表面开有若干风冷孔，所述风冷孔对准载片舟上的菱形硅片。[0008]采用这样的结构后，若干销轴支撑载片舟，气源向风冷组件的风冷管输送冷风介质，再从风冷孔吹出对载片舟上的菱形硅片进行冷却，加速了对菱形硅片的冷却作业，提升了工作效率。[0009]为了更清楚的理解本发明的技术内容，以下将本菱形硅片载片舟的冷却装置简称为本冷却装置。[0010]本冷却装置的风冷组件包括至少一个第一风冷管和至少一个第二风冷管，所述第一风冷管为直管状，第一风冷管一端与气源连接，第一风冷管另一端封闭，第一风冷管的侧壁开有若干第一风冷孔，所述第一风冷孔对准载片舟上的菱形硅片下端角处，第一风冷管固定连接在底座上；[0011]所述第二风冷管包括第一管体、第二管体和折弯管体，第一管体、第二管体相互平行，折弯管体连通第一管体和第二管体，处于下侧的第一管体固定在底座上，第一管体的端部与气源连接，处于上侧的第二管