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一种晶片用圆片样品清洗治具及其清洗方法.pdf
2023-05-28
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是秋****写意
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本发明公开了一种晶片用圆片样品清洗治具及其清洗方法，涉及晶片清洗设备技术领域，解决现有设备对晶片清洗过程中，下落的晶片与上浮的晶片发生碰撞的问题技术问题，包括两个支撑板，两个支撑板之间通过支撑杆连接，在两个支撑板之间设置有至少一组定位组件，定位组件包括相邻设置的第一隔片杆和第二隔片杆，且第一隔片杆和第二隔片杆相对的两侧面之间呈V形的缺口，V形的缺口的上方设置有下压用的压杆，所述压杆的两端分别连接在两个支撑板上，本发明中的多个圆片样品的底部分别抵接在第一隔片杆和第二隔片杆上，圆片样品的顶部抵接在压杆的底部，
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