一种ITO玻璃片清洗治具.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103331284A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103331284103331284A(43)申请公布日2013.10.02(21)申请号201310312275.4(22)申请日2013.07.24(71)申请人合肥彩虹蓝光科技有限公司地址230012安徽省合肥市新站区工业园内(72)发明人丁维才(51)Int.Cl.B08B11/04(2006.01)B08B13/00(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书2页说明书2页附图1页附图1页(54)发明名称一种ITO玻璃片清洗治具(57)摘要一种ITO玻璃片清洗治具，包括：侧板、底板、中板，所述底板分为上下两块，侧板与底板组成清洗治具池，清洗治具池中部设有中板，中板为两块薄板合板，清洗治具池内部设有固定玻璃片卡槽，固定玻璃片卡槽分为四个台阶，用于固定不同尺寸的玻璃片。本发明在没有使用新的清洗治具之前，每次使用花篮清洗玻璃片一次最多8块小的或3块大的玻璃片，使用新的清洗治具后，一次可以清洗27片不同规格的玻璃片，清洗效率大幅度提高，缩短占用正常生产时间，提高产量提高经济效益；另外本发明降低在取放玻璃片的过程中，由于玻璃片脱落将石英缸砸碎的可能性，提高设备安全运行的可能性。另外可以杜绝在取放玻璃片的过程中，不会发生因玻璃片脱落将ITO蚀刻液飞溅至作业员身上，发生高危化学药液伤人事故。CN103331284ACN103284ACN103331284A权利要求书1/1页1.一种ITO玻璃片清洗治具，包括：侧板、底板、中板，其特征在于：所述底板分为上下两块，侧板与底板组成清洗治具池，清洗治具池中部设有中板，中板为两块薄板合板，清洗治具池内部设有固定玻璃片卡槽，固定玻璃片卡槽分为三个台阶，用于固定不同尺寸的玻璃片。2.根据权利要求1所述的一种ITO玻璃片清洗治具，其特征在于：所述侧板、底板、中板、固定玻璃片卡槽材质为PTFE材料。3.根据权利要求1所述的一种ITO玻璃片清洗治具，其特征在于：所述侧板尺寸为205mm*40mm*5.0mm，中板尺寸为215mm*57.5mm*5.0mm，固定玻璃片卡槽分为四个台阶；固定玻璃片卡槽中三个台阶，用于固定长度为120mm、135mm、150mm的玻璃片。2CN103331284A说明书1/2页一种ITO玻璃片清洗治具技术领域[0001]本发明涉及一种玻璃片清洗治具，具体为一种ITO玻璃片清洗治具。背景技术[0002]在现代LED生产制造过程中，晶片在匀上光刻胶后经曝光、显影、烘烤、再进行ITO镀膜处理，蒸镀时需要使用石英灯对真空腔体进行加热处理，ITO蒸发源在电子束高速的轰击下，蒸发源蒸发到晶片上和腔体内壁，每当蒸镀次数达到30RUN时，腔体内温度均匀性开始明显变差，晶片单位面积的面电阻变大，此时需要更换新的石英玻璃片，保证真空腔室在镀膜时温度均匀性稳定。而更换下来的石英玻璃片需使用ITO蚀刻液将玻璃片上一层ITO膜清洗干净，烘干后再使用，在清洗玻璃片时就需使用专用的清洗治具。[0003]国内大部分LED制造行业都没有标准的清洗玻璃片治具，对于清洗玻璃片几乎都是采用手动作业方式，每次只是将玻璃片（5块）放置在清洗产品的卡塞内或提篮上，这样一则清洗效率低，二则清洗作业不规范，在ITO槽体内取放玻璃片过程中很有可能发生玻璃片脱落将石英缸砸碎或将ITO蚀刻液飞溅到作业员身上，造成高危化学药液伤人事故。发明内容[0004]本发明所解决的技术问题在于提供一种ITO玻璃片清洗治具，以解决上述背景技术中的问题。[0005]本发明所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种ITO玻璃片清洗治具，包括：侧板、底板、中板，所述底板分为上下两块，侧板与底板组成清洗治具池，清洗治具池中部设有中板，中板为两块薄板合板，清洗治具池内部设有固定玻璃片卡槽，固定玻璃片卡槽分为四个台阶，用于固定不同尺寸的玻璃片。[0006]所述侧板、底板、中板、固定玻璃片卡槽材质为PTFE材料。[0007]优选的，所述侧板尺寸为205mm*40mm*5.0mm，中板尺寸为215mm*57.5mm*5.0mm，固定玻璃片卡槽分为四个台阶；固定玻璃片卡槽中三个台阶，用于固定长度为120mm、135mm、150mm的玻璃片。[0008]有益效果：本发明在没有使用新的清洗治具之前，每次使用花篮清洗玻璃片一次最多8块小的或3块大的玻璃片，使用新的清洗玻璃片治具后，一次可以清洗27片不同规格的玻璃片，清洗效率大幅度提高，缩短占用正常生产时间，提高产量提高经济效益；另外本发明降低在取放玻璃片的过程中，由于玻璃片脱落将石英缸砸碎的可能性，提高设备安全运行的可能性。附图说明[0009]图1为本发明的结构示意图。[0010]