内容提供者
一种热研磨辊研磨方法及研磨装置.pdf
2023-05-26
10金币
1.6MB
12页
努力****元恺
实名认证
内容提供者
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10
亲，该文档总共12页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～
相关资料
一种热研磨辊研磨方法及研磨装置.pdf
本发明涉及研磨装置技术领域，且公开了一种热研磨辊研磨方法及研磨装置，包括磨床，所述磨床上方设置有研磨机构，所述磨床侧面设置有加热机构，所述磨床侧面设置有冷却机构和热量回收机构。本方案中的热研磨辊研磨方法其通过对研磨辊进行预加热再冷却，事先消除研磨辊内的应力，提高研磨辊内部的组织稳定性，研磨时研磨辊加热至其工作温度，受热的研磨辊在转动的过程中利用砂轮对其进行研磨，为了减缓研磨辊因研磨产生的热量而导致其尺寸产生波动，通过采用风冷的方式对其研磨区域进行冷却，并且实时利用温度传感器检测研磨区域的附近温度，以使得研
2023-05-26
10
1.6MB
研磨轮、研磨装置及研磨方法.pdf
本发明公开了一种研磨装置，包括至少两个研磨轮，所述至少两个研磨轮的目数不同，所述目数是指研磨轮表面的单位面积内的研磨颗粒的数目；目数不同的所述至少两个研磨轮，用于依目数从小到大的顺序对待研磨物进行研磨；其中，所述研磨轮包括用于容纳并研磨待研磨物的研磨槽；所述研磨槽设置在所述研磨轮的外周面，且在所述研磨轮轴线所处平面内，所述研磨槽的截面形状为等腰梯形，且所述研磨槽的开口角度为30°～60°。本发明还公开了一种研磨轮和研磨方法。本发明提出的研磨轮、研磨装置及研磨方法，能够达到较好的研磨效果。
2023-08-30
10
747KB
研磨方法及研磨装置.pdf
本发明关于一种依据来自晶片等基板的反射光所含的光学信息测定膜厚，并研磨该基板的研磨方法及研磨装置。研磨方法准备分别包含对应于不同膜厚的多个参考光谱的多个光谱群，在基板上照射光，并接收来自该基板的反射光，根据反射光生成抽样光谱，选择包含形状与抽样光谱最接近的参考光谱的光谱群，研磨基板，并生成测定光谱，并从选出的光谱群选择形状与研磨基板时所生成的测定光谱最接近的参考光谱，取得对应于选出的参考光谱的膜厚。
2023-06-10
10
2.7MB
研磨装置及研磨方法.pdf
本发明提供一种研磨装置，是为批次式，包含贴附有研磨布的定盘，中心滚筒及导引滚筒，以及支承晶圆且与上述二个滚筒为得以旋转地接触的顶轮，研磨装置在通过定盘的旋转而使顶轮旋转的同时，将以顶轮所支承的晶圆推靠在研磨布而进行研磨，其中顶轮将支承晶圆的底盘予以支承在下方，而在与上述二个滚筒为相对向的区域设置有一个以上的外周沟，以外周沟以外的对向区域与上述二个滚筒接触，或是上述二个滚筒，在与顶轮相对向的区域设置有一个以上的滚筒沟，以滚筒沟以外的对向区域与顶轮接触。
2023-08-29
10
554KB
研磨装置及研磨方法.pdf
本发明提供一种研磨装置及研磨方法，本发明的双头研磨加工装置（1）具备：主轴驱动部（30），其使可安装砂轮（10）的主轴（31）旋转；移动部（90），其使主轴驱动部（30）沿接近远离晶片（W）的方向移动；及倾斜测量部（60），其测量主轴驱动部（30）的移动所伴随的主轴（31）的倾斜的变化。
2023-09-02
10
636KB