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膜层厚度的量测方法.pdf
2023-05-26
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膜层厚度的量测方法.pdf
一种膜层厚度的量测方法,包括:提供基底;在所述基底上形成参照层;在所述参照层上形成待量测层,所述待量测层与所述参照层的材料不同,所述待量测层具有相对的第一面和第二面,第二面与参照层接触;采用干蚀刻机台对所述待量测层进行蚀刻处理,并获取所述干蚀刻机台对待量测层的蚀刻时间;获取所述干蚀刻机台对所述待量测层的蚀刻速率;根据所述蚀刻时间和所述蚀刻速率,获取所述待量测层的膜层厚度。通过获取所述干蚀刻机台对所述待量测层的蚀刻速率和蚀刻时间,即可获取所述待量测层的膜层厚度,对所述待量测层的膜层厚度没有限制,因此能够有效
2023-05-26
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本申请公开了显示面板及其膜层厚度量测方法、测试结构，该显示面板包括玻璃基板、膜层和量测标识；膜层设置于玻璃基板；量测标识设置于玻璃基板，量测标识的横截面积随横截面与玻璃基板之间的距离增加而减小，量测标识用于根据量测标识显露于膜层的尺寸数据对膜层的厚度进行测量。本申请的显示面板通过在玻璃基板上设置量测标识，对膜层厚度进行测量，测量方式不受膜层致密性的影响，保证膜层厚度的准确性和均匀性，保证显示面板的精度。
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