显示面板及其膜层厚度量测方法、测试结构.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115763430A(43)申请公布日2023.03.07(21)申请号202211342816.3(22)申请日2022.10.28(71)申请人惠科股份有限公司地址518101广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区工业二路1号惠科工业园厂房1栋一层至三层、五至七层,6栋七层(72)发明人张建英袁海江(74)专利代理机构深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)44280专利代理师强珍妮(51)Int.Cl.H01L23/544(2006.01)H01L21/66(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图7页(54)发明名称显示面板及其膜层厚度量测方法、测试结构(57)摘要本申请公开了显示面板及其膜层厚度量测方法、测试结构，该显示面板包括玻璃基板、膜层和量测标识；膜层设置于玻璃基板；量测标识设置于玻璃基板，量测标识的横截面积随横截面与玻璃基板之间的距离增加而减小，量测标识用于根据量测标识显露于膜层的尺寸数据对膜层的厚度进行测量。本申请的显示面板通过在玻璃基板上设置量测标识，对膜层厚度进行测量，测量方式不受膜层致密性的影响，保证膜层厚度的准确性和均匀性，保证显示面板的精度。CN115763430ACN115763430A权利要求书1/2页1.一种显示面板，其特征在于，包括：玻璃基板；膜层，设置于所述玻璃基板；量测标识，设置于所述玻璃基板，所述量测标识的横截面积随横截面与所述玻璃基板之间的距离增加而减小，所述量测标识用于根据所述量测标识显露于所述膜层的尺寸数据对所述膜层的厚度进行测量。2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板包括显示区和非显示区，所述量测标识设置于与所述非显示区和/或所述显示区对应的所述玻璃基板。3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述显示区包括多个显示像素，所述量测标识设置于与所述显示区对应的所述玻璃基板，并且所述量测标识位于所述显示像素之间。4.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述量测标识在所述玻璃基板上投影的形状为多边形和/或圆形。5.根据权利要求1或4任一项所述的显示面板，其特征在于，所述量测标识为四棱锥体、圆锥体、四棱台和圆台中的至少一种。6.根据权利要求5所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板包括相对设置的第一基板和第二基板，所述量测标识位于所述第一基板和所述第二基板之间，用于支撑所述第一基板和所述第二基板。7.根据权利要求5所述的显示面板，其特征在于，所述量测标识为四棱台形和/或四棱锥形，所述量测标识在所述玻璃基板上的投影面积至少为25um2，所述量测标识的高度至少为1um。8.一种显示面板的膜层厚度量测方法，其特征在于，包括：提供玻璃基板，所述玻璃基板上设置有量测标识，所述量测标识的横截面积随横截面与所述玻璃基板之间的距离增加而减小；在所述玻璃基板上设置膜层；获取所述量测标识显露于所述膜层的尺寸数据；基于所述尺寸数据计算所述膜层的厚度数据。9.根据权利要求8所述的膜层厚度量测方法，其特征在于，所述玻璃基板上设置有量测标识的步骤，包括：在所述玻璃基板上设置绝缘层；在所述绝缘层之上放置一个形成有预设形状开孔的掩模板；对所述绝缘层进行曝光处理；对曝光处理后的所述绝缘层进行显影，以得到所述量测标识，所述量测标识的形状与所述预设开孔形状对应。10.根据权利要求9所述的膜层厚度量测方法，其特征在于，在所述玻璃基板上设置膜层的步骤之前，所述膜层厚度量测方法还包括：获取所述量测标识的尺寸参数；基于所述尺寸参数建立量测模型，所述量测模型包括所述尺寸参数与所述厚度数据的相对关系。2CN115763430A权利要求书2/2页11.一种测试结构，其特征在于，所述测试结构通过如权利要求8‑10任一项所述的膜层厚度量测方法对显示面板的膜层进行厚度量测。3CN115763430A说明书1/7页显示面板及其膜层厚度量测方法、测试结构技术领域[0001]本申请涉及显示技术领域，特别是涉及显示面板及其膜层厚度量测方法、测试结构。背景技术[0002]显示面板是显示器的主要组件，显示面板包括相对设置的第一基板和第二基板，以及填充在第一基板和第二基板之间的膜层。膜层厚度的准确性和均匀性对于显示质量来说至关重要。[0003]现有显示面板的膜层厚度量测方法是通过量测光程差进行，对于不同位置的膜层厚度需要单点量测、多点监控，耗时长，并且该种量测方法易受到膜层致密性的影响，导致量测误差较大，不利于显示面板精度的提高。发明内容[0004]为解决上述技术问题，本申请提供了一种显示面板及其膜层厚度量测方法、测试结构。[0005]为解决上述问题，本申请提供一种显示面板，该显示面板包括玻璃基板、膜层和量测标识；所述膜层设置于所述玻璃基板；所述量测标识设置