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一种半导体扩散炉支撑环架.pdf
2023-05-25
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慧颖****23
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本实用新型提供一种半导体扩散炉支撑环架,用于在真空的法兰内支撑石英内管,生产6寸晶圆;包括底环1,中环2,上环3和压环4;所述底环1,中环2,上环3和压环4自下向上依次设置,所述中环2固定在底环1上;所述上环3固定在中环2上;所述压环4固定在上环3上;所述底环1,中环2,上环3和压环4均为环状设置,内径为190mm;本实用新型的有益效果:可实现8寸法兰安装6寸石英内管,8寸机台生产6寸晶圆,多元化生产,节约成本。
2023-05-25
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本实用新型提供一种半导体扩散炉花篮传送治具,用于适配可以同时生产6寸晶圆与8寸晶圆的花篮支架;包括传送架1,设置在传送架1上的定位支架1,限位支架3,垫片4和安装孔5;所述传送架1呈工字型设置,在工字型顶部设置有垫片4,所述传送架1中部上表面设置有定位支架2,所述传送架1底部设置有限位支架3,与垫片4配合定位花篮;所述限位支架3靠近传送架1中部的一侧设置有安装孔5;所述安装孔5设置有三个,为长圆形孔;本实用新型的有益效果:本机械传送架本体采用PTFE材质制成,洁净度高,传感器感应灵敏,安装位置与原厂匹配,
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