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一种半导体扩散炉用陶瓷手臂.pdf
2023-05-25
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一种半导体扩散炉用陶瓷手臂.pdf
本实用新型提供一种半导体扩散炉用陶瓷手臂,用于在半导体扩散炉中对6寸晶圆进行承载传递的工序;陶瓷手臂本体为一片状承载式手臂,包括安装孔位1,支撑位2,第一触点3,第二触点5;安装孔位1设置在陶瓷手臂本体端部,用于将陶瓷手臂本体安装在设备支架上;陶瓷本体还包括支撑位2,用于承载晶圆;支撑位2的上表面设置有第一触点3和第二触点5,用于感应承载在支撑位2上的晶圆;陶瓷手臂本体侧缘靠近第二触点5处还设置有传感器让位4;所述传感器让位4为向陶瓷手臂本体中部凹陷的槽部;本实用新型的有益效果:采用高纯度的陶瓷制成,不宜
2023-05-25
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一种半导体扩散炉用花篮翻转支架.pdf
本实用新型提供一种半导体扩散炉用花篮翻转支架,用于第一晶圆的生产;包括翻转架1,固定在翻转架1上的第一花篮固定组件2和第二花篮固定组件3,分别固定在第一花篮固定组件2和第二花篮固定组件3上的第一花篮5和第二花篮6,以及固定在翻转架1后侧用于固定第一花篮5和第二花篮6的后固定架4;所述第一花篮5为6寸花篮,所述第二花篮6为8寸花篮;本实用新型的有益效果:本机械支架本体采用PTFE制成,洁净度高,传感器感应灵敏,安装位置与原厂匹配,固定支架内部采用铝制作,强度高,外部喷涂PTFE,以防止花篮与金属支架直接接触
2023-06-07
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一种半导体扩散炉支撑环架.pdf
本实用新型提供一种半导体扩散炉支撑环架,用于在真空的法兰内支撑石英内管,生产6寸晶圆;包括底环1,中环2,上环3和压环4;所述底环1,中环2,上环3和压环4自下向上依次设置,所述中环2固定在底环1上;所述上环3固定在中环2上;所述压环4固定在上环3上;所述底环1,中环2,上环3和压环4均为环状设置,内径为190mm;本实用新型的有益效果:可实现8寸法兰安装6寸石英内管,8寸机台生产6寸晶圆,多元化生产,节约成本。
2023-05-25
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一种半导体扩散炉花篮传送治具.pdf
本实用新型提供一种半导体扩散炉花篮传送治具,用于适配可以同时生产6寸晶圆与8寸晶圆的花篮支架;包括传送架1,设置在传送架1上的定位支架1,限位支架3,垫片4和安装孔5;所述传送架1呈工字型设置,在工字型顶部设置有垫片4,所述传送架1中部上表面设置有定位支架2,所述传送架1底部设置有限位支架3,与垫片4配合定位花篮;所述限位支架3靠近传送架1中部的一侧设置有安装孔5;所述安装孔5设置有三个,为长圆形孔;本实用新型的有益效果:本机械传送架本体采用PTFE材质制成,洁净度高,传感器感应灵敏,安装位置与原厂匹配,
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用于半导体扩散炉的石英钩.pdf
本发明公开了一种用于半导体扩散炉的石英钩，包括钩尖（1）和用于连接钩尖（1）的连接棒（2），所述的连接棒（2）包括实心棒（3）和与其相连的空心棒（4），实心棒（3）的一端与钩尖（1）相连，实心棒（3）的另一端与空心棒（4）相连；所述的钩尖（1）、实心棒（3）和空心棒（4）采用石英制成。本发明的结构简单，连接棒的大部分采用空心的石英棒制成，降低了生产成本；同时由于后端采用空心棒制成，延缓了热传导的速度，有效降低了高温下的操作难度，并且不易破碎；另外该石英钩的结构设计合理、形状精致，具有较大的经济利益，适宜推
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