一种半导体扩散炉花篮传送治具.pdf

本实用新型提供一种半导体扩散炉花篮传送治具,用于适配可以同时生产6寸晶圆与8寸晶圆的花篮支架;包括传送架1,设置在传送架1上的定位支架1,限位支架3,垫片4和安装孔5;所述传送架1呈工字型设置,在工字型顶部设置有垫片4,所述传送架1中部上表面设置有定位支架2,所述传送架1底部设置有限位支架3,与垫片4配合定位花篮;所述限位支架3靠近传送架1中部的一侧设置有安装孔5;所述安装孔5设置有三个,为长圆形孔;本实用新型的有益效果:本机械传送架本体采用PTFE材质制成,洁净度高,传感器感应灵敏,安装位置与原厂匹配,固定支架内部采用铝制作,强度高,外部喷涂PTFE,以防止花篮与金属支架直接接触,可以对6寸晶圆和8寸晶圆都能进行限位,适配性高。