内容提供者
一种半导体扩散炉用花篮翻转支架.pdf
2023-06-07
10金币
596KB
7页
一只****呀淑
实名认证
内容提供者
1/7
2/7
3/7
4/7
5/7
6/7
7/7
在线预览结束，喜欢就下载吧，查找使用更方便
相关资料
一种半导体扩散炉用花篮翻转支架.pdf
本实用新型提供一种半导体扩散炉用花篮翻转支架,用于第一晶圆的生产;包括翻转架1,固定在翻转架1上的第一花篮固定组件2和第二花篮固定组件3,分别固定在第一花篮固定组件2和第二花篮固定组件3上的第一花篮5和第二花篮6,以及固定在翻转架1后侧用于固定第一花篮5和第二花篮6的后固定架4;所述第一花篮5为6寸花篮,所述第二花篮6为8寸花篮;本实用新型的有益效果:本机械支架本体采用PTFE制成,洁净度高,传感器感应灵敏,安装位置与原厂匹配,固定支架内部采用铝制作,强度高,外部喷涂PTFE,以防止花篮与金属支架直接接触
2023-06-07
10
596KB
一种半导体扩散炉花篮传送治具.pdf
本实用新型提供一种半导体扩散炉花篮传送治具,用于适配可以同时生产6寸晶圆与8寸晶圆的花篮支架;包括传送架1,设置在传送架1上的定位支架1,限位支架3,垫片4和安装孔5;所述传送架1呈工字型设置,在工字型顶部设置有垫片4,所述传送架1中部上表面设置有定位支架2,所述传送架1底部设置有限位支架3,与垫片4配合定位花篮;所述限位支架3靠近传送架1中部的一侧设置有安装孔5;所述安装孔5设置有三个,为长圆形孔;本实用新型的有益效果:本机械传送架本体采用PTFE材质制成,洁净度高,传感器感应灵敏,安装位置与原厂匹配,
2023-05-24
10
324KB
一种半导体扩散炉石英支架及其精密定位装置.pdf
本发明涉及半导体器件生产设备，公开了一种半导体扩散炉石英支架及其精密定位装置，其中半导体扩散炉石英支架包括支架立轴、套设于支架立轴上的支架爪盘，所述支架立轴用于与支架爪盘相配合的一端开设有锥形面，所述支架爪盘上开设有用于供支架立轴带有锥形面的一端嵌入的锥形槽口；本发明分体式的石英支架能够适应炉管横置的扩散炉，使得石英支架能够放入横置的炉管内对晶片进行支撑；而精密定位装置则能够提高支架立轴的加工精度，使得支架立轴在旋转的过程中能够更平稳地带动支架爪盘上的晶片旋转。
2023-06-15
10
495KB
一种半导体扩散炉用陶瓷手臂.pdf
本实用新型提供一种半导体扩散炉用陶瓷手臂,用于在半导体扩散炉中对6寸晶圆进行承载传递的工序;陶瓷手臂本体为一片状承载式手臂,包括安装孔位1,支撑位2,第一触点3,第二触点5;安装孔位1设置在陶瓷手臂本体端部,用于将陶瓷手臂本体安装在设备支架上;陶瓷本体还包括支撑位2,用于承载晶圆;支撑位2的上表面设置有第一触点3和第二触点5,用于感应承载在支撑位2上的晶圆;陶瓷手臂本体侧缘靠近第二触点5处还设置有传感器让位4;所述传感器让位4为向陶瓷手臂本体中部凹陷的槽部;本实用新型的有益效果:采用高纯度的陶瓷制成,不宜
2023-05-25
10
一种半导体扩散炉支撑环架.pdf
本实用新型提供一种半导体扩散炉支撑环架,用于在真空的法兰内支撑石英内管,生产6寸晶圆;包括底环1,中环2,上环3和压环4;所述底环1,中环2,上环3和压环4自下向上依次设置,所述中环2固定在底环1上;所述上环3固定在中环2上;所述压环4固定在上环3上;所述底环1,中环2,上环3和压环4均为环状设置,内径为190mm;本实用新型的有益效果:可实现8寸法兰安装6寸石英内管,8寸机台生产6寸晶圆,多元化生产,节约成本。
2023-05-25
10
579KB