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一种含孔隙靶材的清洗方法.pdf
2023-05-25
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一种含孔隙靶材的清洗方法.pdf
本发明涉及一种含孔隙靶材的清洗方法,所述清洗方法包括:对含孔隙靶材依次进行第一醇洗、第二醇洗、清洗剂清洗和烘干,得到清洗后的含孔隙靶材;所述清洗剂清洗中采用的清洗剂包括体积比为1:(0.06?0.18):(0.2?0.35)的煤油、汽油和柴油;所述柴油为轻柴油。本发明提供的清洗方法,针对含孔隙靶材通过在清洗过程中采用特定的清洗剂实现了孔隙中切削液的去除,同时也避免了洗涤剂在靶材孔隙中的吸附而导致的二次残留。
2023-05-25
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一种陶瓷靶材的清洗方法.pdf
本发明提供了一种陶瓷靶材的清洗方法，所述清洗方法包括以下步骤：将陶瓷靶材的表面进行擦拭清洗；将处理后的陶瓷靶材采用有机溶剂进行超声波清洗；将处理后的陶瓷靶材依次进行吹扫干燥和真空干燥，得到清洗后的陶瓷靶材。本发明所述方法根据陶瓷靶材的材质特性，依次采用擦拭清洗、超声波清洗的方式将靶材表面的油污、污迹、粉尘等充分去除，再经吹扫、真空等干燥方式将清洗液去除，保证靶材表面的洁净度，从而保证溅射过程稳定，满足使用要求；所述方法中真空干燥前先进行吹扫干燥，可将靶材表面的清洗液成分快速吹干，避免液体长时间残留容易形成
2023-11-07
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一种靶材表面的清洗方法.pdf
本发明提供了一种靶材表面的清洗方法，所述清洗方法包括以下步骤：将靶材表面进行流水清洗并擦拭，然后依次进行超声振动清洗、喷射清洗和吹扫干燥，得到清洗完成的靶材。本发明所述方法采用多级清洗工艺，对加工完成后的靶材依次进行流水清洗、超声振动清洗以及喷射清洗，使靶材组件的溅射面、喷砂熔射区、凹槽等各区域均能够完成清洗，达到完全去污、去油、去杂质、去粉尘的效果；本发明采用吹扫干燥的方式，快速吹干，避免液体长时间残留容易形成水印的问题；本发明清洗过程中未使用任何有机溶剂，清洗成本低，产生废液量较少。
2023-11-10
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一种靶材、靶材制备方法及装置.pdf
本发明是关于一种靶材、靶材制备方法及装置。该靶材包括：背衬管；形成于背衬管的外表面的靶材体；其中，靶材体包括：两个端段和中间段；其中，所述端段的第一靶材厚度大于所述中间段的第二靶材厚度。该技术方案增加了靶材体的端段的厚度，延长靶材在使用过程中的消耗时长，从而防止靶材体两端先耗光，提高靶材的利用率。
2023-12-05
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一种靶材、靶材组件及其制作方法.pdf
本发明提供了一种靶材，由两个或两个以上的部件经过焊接步骤形成，靶材包括靶材部和强化部，强化部的成分与靶材部的成分不同，强化部在靶材的焊接步骤中形成且连接至靶材部以提高了靶材的强度，强化部处于靶材的背面，且强化部覆盖靶材部的背面的至少一部分。靶材的强化部由高纯度金属与该种金属的合金经过焊接而均匀混合形成，具有强化部可以有效加强靶材的强度尤其是水冷面的强度。此外靶材是根据靶材本体在使用过程中正面受到侵蚀后的轮廓线而调整相应的焊接深度，使得在保证靶材本体使用率的情况下尽可能提高靶材的强化部的比例，从而使得靶材在
2023-08-19
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