一种靶材、靶材制备方法及装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108425096A(43)申请公布日2018.08.21(21)申请号201810489753.1(22)申请日2018.05.21(71)申请人米亚索乐装备集成（福建）有限公司地址362000福建省泉州市鲤城区高新区紫山路42号(72)发明人王云能(74)专利代理机构北京尚伦律师事务所11477代理人毛宏宝(51)Int.Cl.C23C14/35(2006.01)权利要求书3页说明书10页附图6页(54)发明名称一种靶材、靶材制备方法及装置(57)摘要本发明是关于一种靶材、靶材制备方法及装置。该靶材包括：背衬管；形成于背衬管的外表面的靶材体；其中，靶材体包括：两个端段和中间段；其中，所述端段的第一靶材厚度大于所述中间段的第二靶材厚度。该技术方案增加了靶材体的端段的厚度，延长靶材在使用过程中的消耗时长，从而防止靶材体两端先耗光，提高靶材的利用率。CN108425096ACN108425096A权利要求书1/3页1.一种靶材，其特征在于，包括：背衬管；形成于所述背衬管的外表面的靶材体；其中，所述靶材体包括：两个端段和中间段；其中，所述端段的第一靶材厚度大于所述中间段的第二靶材厚度。2.根据权利要求1所述的靶材，其特征在于，所述靶材体还包括：位于所述两个端段和所述中间段之间的过渡段，其中，所述过渡段的靶材厚度沿中轴的方向从所述第一靶材厚度逐渐减小到所述第二靶材厚度；所述过渡段、中间段和端段的材料都相同。3.根据权利要求1所述的靶材，其特征在于，所述靶材还包括：形成于所述背衬管和所述靶材体之间的粘结层；其中，所述粘结层的材料粘度大于所述靶材体的材料粘度，所述粘结层和所述靶材体的材料成分相同，但材料成分配比不同。4.根据权利要求3所述的靶材，其特征在于，所述靶材还包括：形成于靶材体与粘结层之间的起始层；其中，所述起始层的材料与所述靶材体的材料相同，但所述起始层和所述靶材体的制备工艺不同。5.根据权利要求2所述的靶材，其特征在于，所述过渡段的斜度的范围在3-30°之间。6.一种靶材制备方法，其特征在于，包括：对背衬管上两个预设端段位置喷涂第一靶材，得到靶材体的两个端段；所述端段的厚度为所述预设端段位置上喷涂所述第一靶材得到的第一靶材厚度；对所述背衬管上预设中间段位置喷涂所述第一靶材，得到所述靶材体的中间段；所述中间段的厚度为所述预设中间段上喷涂所述第一靶材得到的第二靶材厚度；其中，所述第一靶材厚度大于所述第二靶材厚度。7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述对背衬管上两个预设端段位置喷涂第一靶材包括：按照第一速度对所述背衬管上两个预设端段位置喷涂所述第一靶材，得到所述靶材体的两个端段；所述对所述背衬管上预设中间段位置喷涂第一靶材包括：按照第二速度对所述背衬管上预设中间段位置喷涂所述第一靶材，得到所述靶材体的中间段；其中，所述第一速度和所述第二速度都是喷枪的移动速度，喷涂所述第一靶材的喷涂速度是预设的，所述第一速度小于所述第二速度。8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述按照第二速度对所述背衬管上预设中间段位置喷涂所述第一靶材之后，所述方法还包括：机加工所述两个预设端段分别和所述预设中间端的连接部分，使得所述两个端段分别和所述中间端形成一个预设角度的过渡段。9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述按照第一速度对所述背衬管上两个预设端段位置喷涂所述第一靶材之前，所述方法还包括：2CN108425096A权利要求书2/3页在所述背衬管喷涂所述第二靶材，得到粘结层；其中，所述第二靶材的材料粘度大于所述第一靶材的材料粘度。10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述在所述背衬管喷涂第一靶材，得到粘结层之后，所述方法还包括：在粘结层上喷涂所述第一靶材，得到起始层。11.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述端段和所述中间段的喷涂工艺条件包括：喷涂压力的范围为0.5-3.5bar；温度的范围为200-400℃；喷涂层数的范围为10-150层；第二速度的范围为5-20mm/s；第一速度的范围为3-15mm/s。12.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述粘结层的喷涂工艺条件包括：喷涂压力的范围为5-10bar；温度的范围为90-130℃；喷涂层数的范围为1-10层；所述喷枪的移动速度的范围为5～20mm/s。13.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述起始层的喷涂工艺条件包括：喷涂的压力的范围为3～8bar；温度的范围为40-90℃；喷涂层数的范围为1-10层；所述喷枪的移动速度的范围为5-20mm/s。14.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述预设角度的范围为3-30°。15.一种靶材制备装置，其特征在于，包括：第一喷涂模块，用于