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调节气体流量的改进方法和使用该改进的流量调节方法的系统.pdf

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本发明是一种用于调节生产系统(1)中使用的工业气体的流量的方法,该生产系统(1)包括适于分配工业气体的分配站(2)、使用由分配站(2)分配的工业气体的加工单元(3)和适于将工业气体从分配站(2)输送到加工单元(3)的输送装置(4)。该输送装置(4)包括相互并联布置的两个或更多个开?关型分配阀(5、6、7),并且每个分配阀均被配置为以预先设定的流量分配工业气体。通过选择性地打开和关闭一个或多个分配阀(5、6、7)来调节输送到加工单元(3)的工业气体的流量。