流量调节阀及使用该流量调节阀的流体控制装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109863336A(43)申请公布日2019.06.07(21)申请号201780065702.X(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所(22)申请日2017.10.2511256代理人陈伟周丽娜(30)优先权数据2016-2095572016.10.26JP(51)Int.Cl.F16K31/04(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日F16K37/00(2006.01)2019.04.23G05D7/06(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2017/0384782017.10.25(87)PCT国际申请的公布数据WO2018/079586JA2018.05.03(71)申请人株式会社富士金地址日本大阪府(72)发明人土肥亮介千叶泰司渡边一诚权利要求书1页说明书7页附图4页(54)发明名称流量调节阀及使用该流量调节阀的流体控制装置(57)摘要提供充分发挥手动阀型小型化的优点并解决其课题的电动阀型的流量调节阀。具有通过使旋转体(15)旋转而使上下移动体(6)上下移动的旋转装置。旋转装置包括在旋转体(15)的上端部设置的从动齿轮(14)和使与从动齿轮(14)啮合的驱动齿轮(13)的马达(11)。马达(11)采用步进伺服马达，配置在驱动齿轮(13)的下方，马达(11)的旋转轴(34)向上延伸，在其上端部固定有驱动齿轮(13)。CN109863336ACN109863336A权利要求书1/1页1.一种流量调节阀，包括：主体，其设有流体通路；阀芯，其使所述流体通路开闭；上下移动体，其通过上升或下降对基于所述阀芯的所述流体通路的开度进行调节；旋转体，其与所述上下移动体螺合；以及旋转装置，其通过使所述旋转体旋转而使所述上下移动体上下移动，该流量调节阀的特征在于，所述旋转装置包括：从动齿轮，其设置于所述旋转体的一部分；驱动齿轮，其与所述从动齿轮啮合；以及马达，其使所述驱动齿轮旋转，所述马达采用步进伺服马达，所述驱动齿轮固定于所述马达的旋转轴。2.根据权利要求1所述的流量调节阀，其特征在于，所述马达以与所述旋转体邻接的方式配置，所述马达的旋转轴向上延伸，在该旋转轴的上端部固定有所述驱动齿轮。3.根据权利要求1或2所述的流量调节阀，其特征在于，所述马达的横截面为边长35mm以下的正方形状，所述流量调节阀的横截面为长方形，其短边为36mm以下，所述开度的0％到100％的分辨率为2000脉冲以上。4.根据权利要求1至3中任一项所述的流量调节阀，其特征在于，所述马达具有以下四种功能：位置控制功能，其通过基于编码器的信号的闭环来控制位置；速度控制功能，其控制旋转体的旋转速度；推抵控制功能，其以连续额定转矩以下的转矩使所述旋转体向开度0％方向移动，直到转矩值变为设定值以上；以及转矩控制功能，其控制转矩，开度0％位置的检测通过所述推抵控制功能进行，规定开度的设定通过所述位置控制功能及所述速度控制功能进行，在所述开度0％位置的检测时及所述规定开度的设定时，利用所述转矩控制功能判定转矩异常。5.一种流体控制装置，其具备分别具有将开度设定为规定值的流量调节阀的多条线，该流体控制装置的特征在于，多条线的各流量调节阀采用权利要求1至4中任一项所述的流量调节阀，并且，各所述流量调节阀的所述马达的动作量通过以通信单元连接的监视装置来监视。2CN109863336A说明书1/7页流量调节阀及使用该流量调节阀的流体控制装置技术领域[0001]本发明涉及流量调节阀及使用该流量调节阀的流体控制装置。背景技术[0002]流体控制装置是半导体制造流水线必需的零件。[0003]流体控制装置使用的流量调节阀具有下述构造：使与对基于阀芯的流路通路开度进行调节的上下移动体螺合的旋转体旋转，通过使所述上下移动体上升或下降而对基于阀芯的流路通路的开度进行调节。[0004]存在旋转体的旋转通过手动转动手柄进行的构造(手动阀型)和电动进行的构造(电动阀型)。[0005]流体控制装置在各半导体制造流水线中被大量使用。而且，为了使制造流水线紧凑或由于来自制造工艺条件的制约，流体控制装置设置在没有余裕的空间中的情况不少。[0006]因此，在手动阀型中的流量调节中，作业人员必须将手伸至例如位于流体控制装置下方深处的8线至14线的流量调节阀，若有必要则一边用反射镜等观察流量调节阀的刻度及相应的线的质量流量计的流量显示，一边以微小刻痕的刻度精细地手动转动手柄进行调节。需要对设置于制造流水线的全部流体控制装置进行这种作业，因此成为耗时费力的繁杂作业，无法充分发挥小型这一优点。[0007]与此相对，电动阀型(例如专利文献1、2)中的流量调节由于不会为了进行流量调节而使作业人员直接介入，因此不存