改进的气体流量控制.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108227764A(43)申请公布日2018.06.29(21)申请号201711326253.8(22)申请日2017.12.13(30)优先权数据1621328.22016.12.15GB(71)申请人塞莫费雪科学(不来梅)有限公司地址德国不来梅(72)发明人T·舒艾瑟(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100代理人江漪(51)Int.Cl.G05D7/06(2006.01)G01N27/62(2006.01)权利要求书4页说明书16页附图6页(54)发明名称改进的气体流量控制(57)摘要本发明涉及用于分析设备的进气系统。所述进气系统包含用于调整气体流动速率的可切换流量限制件。本发明还提供用于校准进气系统中的气体流动速率的系统，所述系统包含校准管线，所述校准管线包含气体流量计并且布置在所述进气系统中的气体流量控制器的下游。还提供调节气体流动速率的方法和校准气体流动速率的方法。CN108227764ACN108227764A权利要求书1/4页1.一种用于将气流提供到分析设备中的进气系统，所述系统包含：用于将气体输送到所述分析设备中的进气管线，所述进气管线可连接到所述分析设备以将气体引入到所述设备中，并且可连接到至少一个气体供应件以将气体输送到所述进气管线中；至少一个气体流量限制组件，所述气体流量限制组件布置在所述进气管线上或流体连接到所述进气管线；至少一个控制管线，所述控制管线在所述至少一个气体流量限制组件下游的控制管线接头处流体连接到所述进气管线，所述控制管线包含至少一个背压调整器、用于调整进入所述控制管线的气体流量的至少一个阀，和布置在所述背压调整器下游的至少一个真空泵；和至少一个进入气体流量限制件，所述进入气体流量限制件布置在所述控制管线接头和所述分析设备之间的所述进气管线上；其中所述至少一个气体流量限制组件包含平行布置的流量限制件，所述流量限制件布置在单独的流量限制件气体管线上，所述流量限制件气体管线在所述流量限制件上游的第一限制件处以及在所述气体控制管线上的所述至少一个背压调整器和所述控制管线接头之间的所述气体控制管线上的第二限制接头处与所述进气管线相接。2.根据权利要求1所述的进气系统，其中所述流量限制组件提供为平行布置的两个流量限制件，其中所述流量限制件中的一个布置在所述进气管线上，并且其中所述流量限制件中的第二个设置在旁路气体管线上，所述旁路气体管线平行于所述进气管线布置，并且在所述流量限制件上游的第一限制接头处以及在所述质量流量调整器和所述控制管线接头之间的所述控制管线上的第二限制接头处与所述进气管线相接。3.根据权利要求2所述的进气系统，进一步包含至少一个另外流量限制件，其中每个这类另外流量限制件布置在单独的另外气体管线上，所述单独的另外气体管线平行于所述流量限制组件中的所述第一流量限制件和所述第二流量限制件布置。4.根据前述权利要求1到3中任一项所述的进气系统，其中所述限制组件包含两个或更多个平行的流量限制件，所述流量限制件适于使得在所述限制件两端压力差相同下通过所述流量限制件中的任何两个的气体流量的比率在约1:20到1:1.5的范围内，优选地在约1:15到约1.1.5的范围内，更优选地在约1:10到约1:1.5的范围内，甚至更优选地在约1:7到约1:2的范围内，并且最优选地在约1:5到约1:2的范围内。5.根据前述权利要求中任一项所述的进气系统，其中所述分析设备是质谱仪。6.根据前述权利要求5所述的进气系统，其中所述进气管线流体连接到质谱仪的碰撞室。7.根据前述权利要求1到6中任一项所述的进气系统，其中连接到所述控制管线的所述真空泵是质谱仪的真空泵系统的一部分。8.一种质谱仪，所述质谱仪具有根据前述权利要求中任一项所述的进气系统。9.一种用于校准用于分析设备的进气系统中的气体流量的系统，所述系统包含：进气管线，所述进气管线用于将气体提供到分析设备中；气体流量校准管线，所述气体流量校准管线经由第一校准接头流体连接到所述进气管线，所述气体流量校准管线包含至少一个气体流量计；2CN108227764A权利要求书2/4页至少一个阀，所述阀用于选择性地将气体流量经由所述进气管线引导到所述分析设备中，或经由所述第一校准接头引导到所述气体流量校准管线中；使得在所述至少一个阀的第一气体流量设定下，可将所述系统中的气体流量经由所述进气管线，绕过所述气体流量校准管线引导到所述分析设备中，并且在所述至少一个阀的第二气体流量设定下，可将所述系统中的气体流量经由所述气体流量校准管线引导到所述分析设备中，从而在给定朝向所述校准接头的在所述进气管线中的恒定气体流量的情况下，在所述第二气体流量设定下在所述气体流量校准管线中测量的气体流量是在