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一种石墨舟清洗工艺.pdf
2023-05-24
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秀美****甜v
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一种石墨舟清洗工艺.pdf
本发明公开了一种石墨舟清洗工艺,包括以下步骤,拆舟,使用酸洗液对石墨舟进行洗涤,酸洗液为氢氟酸和双氧水的混合溶液,HF与H2O2的配槽比例为1:2,水洗至中性,干燥,装舟和,饱和。本发明的清洗工艺能有效去除石墨舟表面的杂质,提高了石墨舟表面的洁净度,降低因石墨舟清洗不到位而导致的硅片返工比例;同时能够延长石墨舟的使用寿命,降低石墨舟的损耗;石墨舟酸洗液配比起到了促进反应的作用,缩短了清洗时间;石墨舟清洗方法工艺操作简单,清洗成本较低,适用性广。
2023-05-24
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一种石墨舟饱和工艺.pdf
本发明公开一种石墨舟饱和工艺：(1)用氢氟酸去除石墨舟表面氮化硅；(2)用纯水漂洗石墨舟；(3)使用热水对石墨舟表面进行预脱水；(4)在烘干槽内先通入低温气流对石墨舟预烘干，再通入高温气流彻底烘干；(5)将炉管升温预热，用CDA对饱和炉管吹扫，将待饱和的石墨舟置于炉管内，关闭炉门；(6)炉管继续升温，并通入氮气；(7)将炉管抽真空，测试炉管漏率，测漏后再抽真空；(8)通入氨气，开放射频功率，对石墨舟第一次预处理；(9)通入氨气和硅烷，打开射频电源，使用PECVD对所述石墨舟表面进行饱和处理；(10)通入氨
2023-06-15
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一种石墨舟自动清洗装置及方法.pdf
本发明公开了一种石墨舟自动清洗装置，包括装置主体、置物电动伸缩杆、清洗电动伸缩杆、清洗管、顶盖和回流管，在所述装置主体内部上方两侧倾斜设置有清洗电动伸缩杆，且在清洗电动伸缩杆的伸缩端通过销轴转动连接有上支杆和下支杆，在上支杆和下支杆上均绑缚具有清洗喷头的清洗管,清洗管的一端伸出装置主体外部连通清洗液箱，并在装置主体外部的清洗管上安装有清洗泵,清洗液箱顶端连通有回流管,回流管的一端由装置主体底端通入，并在装置主体外部的回流管上安装有回流泵，在所述装置主体顶端面上固定焊接有固定支架,固定支架上竖直固定有置物电
2023-06-03
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一种石墨舟的饱和沉积工艺.pdf
本发明涉及一种石墨舟的饱和沉积工艺，具体为：将清洗后的石墨舟放入炉管进行饱和沉积的预准备；对所述石墨舟进行预轰击处理；对所述石墨舟沉积第一氮化硅膜；对所述石墨舟沉积碳化硅膜；对所述石墨舟沉积第二氮化硅膜。优先镀一层氮化硅，然后再镀碳化硅膜，最后再镀一层氮化硅膜，镀碳化硅膜位于两层氮化硅膜之间，可以做到碳化硅膜被腐蚀的同时，最底层氮化硅膜也同时被腐蚀，当底层的氮化硅达到被完全腐蚀去除时，碳化硅膜也达到了极大部分被腐蚀去除的状态，剩余细微部分的碳化硅也是疏松、起皮的状态。该种石墨舟饱和沉积工艺能使石墨舟更容易
2023-06-15
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一种石墨舟饱和的工艺方法.pdf
本发明公开一种石墨舟饱和的工艺方法，包括如下步骤：1）将石墨舟送进炉管；2）抽真空，通入氮气15slm，温度升至420℃；3）抽真空，通入氮气15slm，时间300秒，再抽真空，重复三次后恢复真空；4）通入氨气5slm，温度控制在450460℃，预沉积300秒；5）抽真空，通入硅烷和甲烷，持续放电5000‑11000秒；6）抽真空，通入硅烷和氨气，持续放电200秒；7）停止通气，抽真空，至压力达到30mTorr时，通入氮气15slm，再抽真空，重复两次后恢复；8）卸舟。采用本发明的方法，石墨舟镀碳化硅和
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