一种石墨舟自动清洗装置及方法.pdf
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一种石墨舟自动清洗装置及方法.pdf
本发明公开了一种石墨舟自动清洗装置,包括装置主体、置物电动伸缩杆、清洗电动伸缩杆、清洗管、顶盖和回流管,在所述装置主体内部上方两侧倾斜设置有清洗电动伸缩杆,且在清洗电动伸缩杆的伸缩端通过销轴转动连接有上支杆和下支杆,在上支杆和下支杆上均绑缚具有清洗喷头的清洗管,清洗管的一端伸出装置主体外部连通清洗液箱,并在装置主体外部的清洗管上安装有清洗泵,清洗液箱顶端连通有回流管,回流管的一端由装置主体底端通入,并在装置主体外部的回流管上安装有回流泵,在所述装置主体顶端面上固定焊接有固定支架,固定支架上竖直固定有置物电
一种石墨舟清洗工艺.pdf
本发明公开了一种石墨舟清洗工艺,包括以下步骤,拆舟,使用酸洗液对石墨舟进行洗涤,酸洗液为氢氟酸和双氧水的混合溶液,HF与H2O2的配槽比例为1:2,水洗至中性,干燥,装舟和,饱和。本发明的清洗工艺能有效去除石墨舟表面的杂质,提高了石墨舟表面的洁净度,降低因石墨舟清洗不到位而导致的硅片返工比例;同时能够延长石墨舟的使用寿命,降低石墨舟的损耗;石墨舟酸洗液配比起到了促进反应的作用,缩短了清洗时间;石墨舟清洗方法工艺操作简单,清洗成本较低,适用性广。
一种PECVD镀多晶硅用石墨舟的清洗方法.pdf
本发明公开一种PECVD镀多晶硅用石墨舟的清洗方法。将待清洗石墨舟置于水汽氧化炉内,于200‑300℃条件下通入水蒸气至炉内压力为10‑20个大气压,阶梯式升温至1100‑1200℃,保温3‑5h,惰性气氛下降温,得预处理石墨舟;将预处理石墨舟浸入氢氟酸溶液中进行酸洗,鼓泡水洗;然后,采用去离子水对石墨舟进行喷淋,风干,升温干燥,得清洁石墨舟。本发明提供的清洗方法,通过水汽氧化使石墨舟表面沉积的多晶硅完全转化为氧化硅,后续利用氢氟酸单一溶液进行酸洗,就可完全去除石墨舟表面沉积的多晶硅,且整个清洗工艺简单,
一种激光器石墨托盘的清洗方法及清洗装置.pdf
本发明涉及一种激光器石墨托盘的清洗方法及清洗装置,属于半导体清洗技术领域,主要根据现有托盘处理技术的不足,利用烤盘炉针对激光器石墨托盘进行处理。烤盘炉分压、烤盘炉升温、通混合气、抽真空、保持温度、回至常压、取出石墨盘。通过控制处理压力时间和混合气体的比例,实现了托盘无破坏的情况下处理托盘表面生长材料,提高了激光器外延片的良率,降低了石墨托盘杂质对激光器器件性能的影响,并且托盘可以重复利用,减少了备件浪费。
一种石墨舟尺寸检测装置及其使用方法.pdf
本申请涉及一种石墨舟尺寸检测装置及其使用方法,涉及尺寸测量领域,其包括底座,底座上方设有两组测距件,两组所述测距件之间设有松紧板和保持板,松紧板及保持板相互平行且均竖直设置,底座设有用于改变松紧板与保持板间距的驱动件,松紧板转动连接有若干第一齿轮,第一齿轮均滑动连接有松紧块,松紧板上设有齿形带,第一齿轮均与齿形带啮合,保持板滑动连接有若干保持块,保持块与松紧块一一对应,保持块及松紧块均开设有与螺母适配的卡口,松紧板及保持板均开设有测距孔。本申请利用松紧板与保持板将石墨舟夹紧后,可实现石墨舟上所有螺杆的快速