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本发明涉及一种阳极结构及其制备方法与OLED器件。所述阳极结构包括衬底和设置于衬底上的功能层,所述功能层包括自下而上层叠设置的缓冲层、增强反射层、阻挡扩散层和匹配层;所述匹配层的原材料为陶瓷靶材。本发明通过功能层结构的相互搭配,对传统结构进行了优化,从而提高了阳极金属反射率和功函数,并且达到了降低电阻的效果,能够有效的提高OLED器件的发光效率。