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晶圆缺陷的检测方法及装置.pdf

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本申请是关于一种晶圆缺陷的检测方法及装置。该方法包括:通过模板匹配算法识别出待测晶圆上不同缺陷形态所对应的图像区域,从而根据不同图像区域的检测图像进行特征参数的提取,提取出的特征参数可以可靠表征待测晶圆,对提取出的特征参数进行阈值判断,根据判断结果得到待测晶圆的缺陷检测结果。本申请提供的方案,能够识别出缺陷类型,并根据映射关系推算出晶圆生产制程中的站点异常,从而为晶圆制程提供指导性的改善建议。