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成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法.pdf
2023-05-23
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康平****ng
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成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法.pdf
本发明涉及成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法。使基板更可靠地吸附于吸附板。一种成膜装置,其特征在于,该成膜装置具备:腔室,其将内部保持为真空;吸附板,其设置于腔室的内部,具有产生用于吸附基板的静电力的电极;电压控制部件,其向电极施加第1电压和产生比施加第1电压的情况大的静电力的第2电压;以及检测部件,其检测基板向吸附板的吸附状态,在向电极施加第1电压而使吸附板吸附基板的状态下,在由检测部件检测到基板的一部分未吸附于吸附板的情况下,所述电压控制部件向电极施加第2电压。
2023-05-23
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成膜装置、成膜方法、及电子器件的制造方法.pdf
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2023-04-16
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2023-06-20
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对准装置、对准方法、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法.pdf
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静电吸盘系统、成膜装置、吸附及成膜方法、电子器件的制造方法.pdf
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