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成膜装置、成膜方法、及电子器件的制造方法.pdf
2023-04-16
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猫巷****熙柔
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本发明涉及一种成膜装置,所述成膜装置由于能够利用简单的结构长时间连续地进行稳定的成膜,因此,生产性能优异。根据本发明的成膜装置(1),圆筒状的靶(30)、以及在腔室(2)内支承靶(30)且具有与靶(30)在铅垂方向中的朝上的方向上相对的相对面(320)的大气箱(32)在相对于基板(10)在铅垂方向中的朝上的方向上相对的相对区域(A)与相对于基板(10)在铅垂方向上不相对的非相对区域(B)之间移动,能够变更磁场形成机构(4)形成磁场的方向,其中,当靶(30)和大气箱(32)处于相对区域(A)时,使磁场形成机
2023-04-16
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2023-05-23
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对准装置、对准方法、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法.pdf
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本发明涉及静电吸盘系统、成膜装置、吸附方法、成膜方法、以及电子器件的制造方法。静电吸盘系统用于吸附被吸附体，其特征在于，包括：静电吸盘，所述静电吸盘具有电极部和吸附所述被吸附体的吸附面，利用对所述电极部施加的电位差来吸附所述被吸附体；以及吸附辅助构件，在利用所述静电吸盘吸附所述被吸附体时，所述吸附辅助构件用于设定吸附起点并且对吸附进展方向进行引导。根据本发明，可以利用静电吸盘良好地吸附第一被吸附体和第二被吸附体双方而不会残留折皱。
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